離子源電源的工作原理主要是基於氣體放電原理。當（dāng）氣體（tǐ）在離子源的陽極和陰極之間通過（guò）時（shí），其陽極的正電壓與內外陰極兩端之間施加的強磁場相互作用（yòng），產生等離子體。等離子體中的離子受到陽極電場的驅動，導致離子源產生離子束射（shè）流。此外（wài），不同類型的離子源，如高