
丹山直流磁控濺射電源設備廠擴散(sàn)泵連(lián)續使用6個月(yuè)以上,抽速明顯(xiǎn)變慢,或操作失當,充入(rù)大氣,拆去聯結水管,卸(xiè)下電爐盤,將一級噴嘴擰出(chū),先(xiān)用汽油將泵腔及泵膽清洗一(yī)遍,再用洗衣粉兌水清洗一遍,然後用清水徹(chè)底清洗幹淨,待水份揮發幹以(yǐ)後,優質直流磁控濺射電源設(shè)備廠裝好泵膽,加入新擴散泵油,並裝回機體,接好水(shuǐ)管,裝好電爐(lú)盤,便可以重新開機。在重新開機前,要注意檢(jiǎn)漏工作。方法是:啟動維持泵(bèng),關好大門,數分鍾後,觀察擴散泵部分真空度是否達到6X10帕(pà),否則要進(jìn)行檢漏。檢(jiǎn)查聯接處是否裝密封膠圈,或壓壞密封圈。排除漏氣隱患後方可加熱,否則(zé)擴散泵油會燒環無法(fǎ)進入工作狀態。

丹山直流磁控濺射電源設備廠真(zhēn)空鍍膜電源每完成200個鍍(dù)膜程(chéng)序以上,應清潔工作(zuò)室一次。方(fāng)法是:用燒堿(jiǎn)(NaOH)飽和(hé)溶液反複擦(cā)洗真空室內壁,( 注意人體皮膚不(bú)可以直接接觸燒堿溶液,以免灼傷)目的是使鍍(dù)上去的膜(mó)料鋁(AL)與NaOH發生反(fǎn)應,反應後膜層脫落,並釋放出氫氣。再用清水清洗真空室和用布沾(zhān)汽油清洗精抽閥內的汙垢。優質直流磁控濺射(shè)電源設備廠當粗抽泵(滑閥泵,旋片(piàn)泵)連續工作一個月(雨季減半),需更換新油。方法是:擰開放油螺栓,放掉舊油(yóu),再將(jiāng)泵啟動數秒(miǎo),使泵內的舊油完全排放出來。擰回放油(yóu)螺栓,加入新油至額定量(油視鏡(jìng)觀察)。連續(xù)使用半年以上,換油時應將油蓋打開,用(yòng)布擦幹淨箱內汙垢。

丹山直(zhí)流磁控濺射電源設備廠鏡片在接受鍍膜前必須進行預清洗,這種清洗要求很高,達到分子級。在清洗槽中分別放置各種(zhǒng)清洗液(yè),並采用超聲波加強清洗效果,當鏡片清洗完後,放進真空艙內,在(zài)此(cǐ)過程中要特別注意避免空氣中(zhōng)的灰(huī)塵和垃圾再黏附在(zài)鏡片表麵。優質直流磁控(kòng)濺射電源設備廠最後的清洗是在真空艙內,在(zài)此過程中要特別注意避免空氣中的灰塵和垃圾再黏附在(zài)鏡片表麵。最後的清洗是在真空艙(cāng)內鍍前進行的,放置在(zài)真空(kōng)艙內的離子槍將轟(hōng)擊鏡片的表麵(例如用氬離子),完成(chéng)此道清洗工序後即進行減反射膜(mó)的鍍膜。

丹(dān)山直流(liú)磁控濺射(shè)電源設備廠在真(zhēn)空鍍膜時,使用直流負偏壓電源(yuán),其中(zhōng)運用直流電源,這個(gè)電源的電子方向一(yī)直統一,會導致單一品種電荷堆(duī)積過高與控製源中和。也就(jiù)是(shì)說用(yòng)來提供動力的正(zhèng)負極被中和了。然後磁控濺射將不再持續。所以選用脈衝電源。優質直流磁控濺射電源設備廠真空鍍膜一種(zhǒng)由物理辦法發生薄膜資料的技能。在真空(kōng)室內資料的原子從加熱源離析出(chū)來打(dǎ)到被鍍(dù)物體的外(wài)表上。此項技能樶先用於出產光學(xué)鏡片,如航海望遠鏡鏡片等。後延伸到其他功用薄膜,唱片鍍(dù)鋁、裝修(xiū)鍍膜和資料外表改性等。如手表外殼鍍仿金色(sè),機械刀具鍍膜,改變加工紅硬性。