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真空鍍膜是一種通（tōng）過物理方法生產薄膜材料的技術。在真（zhēn）空室中，材料的（de）原子（zǐ）從加熱源中分離出來，撞擊在被鍍物體的表麵上。真空鍍（dù）膜機在正常工作情況下，通電時必須先打開水管，工作中要隨時注意水壓。
真空鍍膜電源在離子轟擊蒸發過程中，要特別注意（yì）高壓線（xiàn）接頭，不要觸碰，以防觸電（diàn）。用電子槍鍍膜時，應（yīng）在鍾罩外圍放一（yī）塊（kuài）鋁板。觀（guān）察窗的（de）玻璃好是鉛（qiān）玻璃，觀察時應佩（pèi）戴鉛（qiān）玻璃眼鏡，防止X射線對人體造成（chéng）傷害。
在鍍多層介質（zhì）膜的鍍層室內，應安裝通風除塵裝置，及時清除有害粉塵。易燃、有毒物品應妥善保管，防止火災中毒（dú）。酸洗夾具應在通風設（shè）備中進行，並應戴上橡膠（jiāo）手套。將零件放入酸洗或堿洗槽時，應輕拿輕放，不得碰撞、濺水。通常酸洗槽應加蓋。
真空（kōng）鍍膜有蒸發鍍膜、濺射（shè）鍍膜（mó）和離（lí）子鍍三種形式：當濺射鍍（dù）膜用高能粒子轟（hōng）擊固體表（biǎo）麵（miàn）時，可以獲得固體表麵的粒子。能量從表麵逸（yì）出並沉積在基板上；離子鍍蒸發物質的分子通過電子撞擊被電離，並以離子的形式沉積在固體表麵。所有三種（zhǒng）形（xíng）式的真空鍍膜技術都需要快速冷（lěng）卻裝置來輔助真空鍍膜過程。
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