脈衝偏壓電源是真空電弧離子鍍和磁控濺射鍍膜或其他真空物理氣相沉積設備的重要組（zǔ）成部分（fèn），對（duì）於（yú）不同的鍍膜工藝，偏壓電源（yuán）也分為不同的（de）類型根據波（bō）形可以分為：一、直流偏壓電源二、直流脈（mò）衝偏置主要特點1.高（gāo）頻單極脈衝對工件（jiàn）施加偏壓，與直流偏壓相比，由於電