偏（piān）壓電（diàn）源類型

脈衝（chōng）偏壓電源是（shì）真空電弧離（lí）子鍍和（hé）磁控濺射鍍膜或其（qí）他真空物理氣相沉積設備（bèi）的重要組成部分，對於不同的鍍（dù）膜工藝，偏壓電（diàn）源也分為不同的類型

根據波形可以分為：

一、直流偏壓電源

二、直流脈衝偏置

主要特點

1.高頻（pín）單極脈（mò）衝對工件施加偏壓，與直流偏壓（yā）相比，由於電壓中斷（duàn）間隙的存在，可（kě）以有效減少點（diǎn）火次數，保護（hù）工件（jiàn）表麵。

2.在脈衝間隙期間，可以中（zhōng）和工件表麵積聚的電荷，從而減少表麵電荷積聚（jù）引（yǐn）起的點火。

3.高（gāo）頻逆變器技（jì）術的快速關（guān）斷能力可以有效地減少每個火花釋放的能量，即使在火花（huā）出現時，也可（kě）以顯著降低（dī）工件表麵的大損傷程度。

4.在脈衝間隙期間沉積到工件表麵的離（lí）子能量非常低。

5.可以通過調節頻率和占空比來提高和控製成膜速度和質量。

三（sān）、直流疊加脈衝偏置

主要特點

1.具有單極脈衝偏置電源的所有特性（xìng）。

2.在直流和直流疊加脈衝模式下（xià），消除了單極脈衝間隙之（zhī）間離子能量低的（de）問題。

四（sì）、雙極脈衝偏置

主要特點

1.負脈（mò）衝的作用與單極脈衝偏置電源相同（tóng），正脈衝的作用主要是吸引等（děng）離子體中的電子，以中和工件表麵正電荷的（de）積累。因為電子的質量比離子（zǐ）的質量小得多（duō），加速很容易，所（suǒ）以正脈衝（chōng）的（de）振幅比（bǐ）負脈衝的（de）振幅小得多——通常為10~100V，正負脈衝的電流積分應該相等。因此，正電（diàn）源的功率遠小於負電源的功率。

2.當正電源電（diàn）壓為零時，雙極（jí）脈衝偏壓變（biàn）為單極脈衝偏壓。