| 無法啟動 | 1. 主電源未接通或電壓異常 | 1. 檢查供電線路（空氣開關、插座），確認（rèn）電壓符合設備額定值（如 380V/220V） |
| 2. 保險管 / 熔斷器燒毀 | 2. 斷電後更換同規格保險管（需（xū）確認無短路（lù）後再更換，避免再次燒毀） |
| 3. 控製信號（如觸發信號、遠程控製）未輸入 | 3. 檢查控製線路（PLC 或（huò）手動控製器連接），確保信號電壓 / 電流符（fú）合設備要求（如（rú） 0-10V 模擬量） |
| 4. 電源內部接觸器或（huò）繼電器故障 | 4. 聯係廠家維修或更換接觸器 / 繼電器（需專業人員操作） |
| 輸出電壓 / 電流不穩定 | 1. 輸（shū）入電（diàn）壓波動過大 | 1. 加裝（zhuāng）穩壓器穩定供（gòng）電；檢查電網是否有其他大功率設（shè）備幹擾 |
| 2. 連接線路接觸不良（如電纜接頭鬆動） | 2. 斷（duàn）電後重新緊固電纜接頭（尤其是靶（bǎ）材（cái）、電（diàn）極連接線），清潔接頭氧化層（céng） |
| 3. 真空度不穩定（真空室漏氣或真空泵故障） | 3. 檢查（chá）真空室密封件（O 型圈），修複漏氣（qì）點；維護真（zhēn）空泵（換油、清理過濾器） |
| 4. 電源內部電壓（yā）反饋電路（lù）故障 | 4. 由廠家校（xiào）準反饋電路或更換損壞（huài）元件 |
| 過流保護頻繁觸發 | 1. 靶材與真（zhēn）空室短路（靶材變形、碎屑搭橋） | 1. 停機後檢查靶材，清理碎屑；更換變（biàn）形靶材，確保靶材與腔體絕緣 |
| 2. 真空度不足（低於工藝要求） | 2. 延長（zhǎng）抽真空時間，檢查真空（kōng）泵性能；修複漏氣（qì）點，確（què）保真空度≥1×10⁻³Pa（視（shì）工藝而定） |
| 3. 電源輸出參數設置過高（如電流超限） | 3. 降低輸出電流 / 功率至額定範圍，重新設置參數並保存 |
| 4. 過流保護電路誤動作（元件老化） | 4. 更換老（lǎo）化的保護電路元件（如（rú）電流傳感器、比較器） |
| 電弧放電頻繁 | 1. 真空度偏低或（huò）氣（qì）體流量不穩定 | 1. 提高真空度至工（gōng）藝標（biāo）準（zhǔn）；檢查氣體流（liú）量計、閥門，確保流量穩定（如氬氣流量 50-200sccm） |
| 2. 靶材表麵汙染（氧化、油汙） | 2. 清潔靶材表麵（酒精擦拭），或（huò）進行（háng）預濺射（低功率轟擊 10-20 分（fèn）鍾） |
| 3. 電源弧抑製參數設置不當 | 3. 調整脈衝電源的弧抑製時間（jiān）（通常 0.1-10μs）和熄（xī）弧電流，增強滅弧能力 |
| 4. 基底與靶材距離過近 | 4. 調整工裝，增大基底與靶材間距（通常 50-200mm，視鍍膜類型而定） |
| 無輸出功率 | 1. 控製板故障（無觸發信號輸出） | 1. 檢查控製板指示（shì）燈，更換損壞的控製板（bǎn）或修複觸發電路 |
| 2. 功率模塊損壞（如 IGBT、晶閘管燒毀（huǐ）） | 2. 檢測功率模塊導通性，更換同型號模塊（需專業人員操作（zuò），避免靜（jìng）電損壞） |
| 3. 反饋信號（hào）中斷（如電壓 / 電流傳感（gǎn）器故障） | 3. 檢查傳感（gǎn）器接線，更換故障傳感器 |
| 顯示異常（亂碼 / 無顯示） | 1. 顯示屏損壞或排線鬆動 | 1. 重新插拔顯示（shì）屏排線；更換顯示屏 |
| 2. 主控板程序出錯或供電（diàn）異常 | 2. 重啟電源複位程序；檢查主控板供電電壓（通常 5V/12V），修複供電電路 |
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