| 無法啟動 | 1. 主電源（yuán）未接通或電壓異常 | 1. 檢查供電線路（空氣開關、插座），確認電壓符合設備額定值（如 380V/220V） |
| 2. 保險管 / 熔斷器燒毀 | 2. 斷電後更換同規（guī）格保險管（需確（què）認無短路後再（zài）更換，避（bì）免再次燒毀） |
| 3. 控製信號（如觸發信號、遠程控製（zhì））未輸入 | 3. 檢查控製線路（PLC 或手動控製器連接），確保信號電壓 / 電流符合設（shè）備要求（qiú）（如（rú） 0-10V 模擬量） |
| 4. 電源（yuán）內部（bù）接觸器或繼電器故障 | 4. 聯係廠（chǎng）家維修或更換接觸器 / 繼電器（需專業人員操作） |
| 輸出電壓 / 電（diàn）流（liú）不（bú）穩定 | 1. 輸（shū）入電壓波動過大 | 1. 加裝穩壓器穩定供電；檢查電網是否有其他大（dà）功（gōng）率（lǜ）設備幹擾 |
| 2. 連接線路接觸不（bú）良（如電纜接頭鬆動） | 2. 斷電後重新緊固電纜接頭（尤其是（shì）靶材、電極連接線），清（qīng）潔接頭氧化層 |
| 3. 真空（kōng）度不穩定（真空室（shì）漏氣或真空泵故障） | 3. 檢查真空室密封件（O 型圈），修複漏氣點；維護真空泵（換油（yóu）、清理過濾器） |
| 4. 電（diàn）源內部電壓反饋（kuì）電路故障 | 4. 由廠家校準反饋電路（lù）或更換損壞元件 |
| 過流保護頻繁觸發 | 1. 靶材與真空室短路（靶材變（biàn）形、碎屑搭橋） | 1. 停機後檢查靶材，清理碎屑；更換變形靶材，確保靶材與（yǔ）腔（qiāng）體絕緣 |
| 2. 真空度不足（低於工（gōng）藝要（yào）求） | 2. 延長抽真空時間，檢查真（zhēn）空泵性能；修複漏（lòu）氣點，確保真空度≥1×10⁻³Pa（視工藝而定） |
| 3. 電源輸出參數設置過高（如電流超限（xiàn）） | 3. 降低輸出電（diàn）流 / 功率至額定範圍，重新設置參數（shù）並保存 |
| 4. 過流保護電路誤動作（元件老化） | 4. 更換老化的保護電路元件（如電流傳感器、比較器） |
| 電弧放電（diàn）頻繁 | 1. 真空度（dù）偏低或氣體流量不穩定 | 1. 提高真空度至工藝標準；檢查氣體流量計、閥門，確保流量穩定（如氬氣流（liú）量 50-200sccm） |
| 2. 靶材表麵（miàn）汙染（氧化、油（yóu）汙） | 2. 清潔靶材表麵（酒精擦拭），或進行預濺射（低功率轟擊 10-20 分（fèn）鍾） |
| 3. 電源弧抑製參數設置不當 | 3. 調（diào）整脈衝電源的弧抑製時間（通常 0.1-10μs）和熄弧（hú）電流，增強滅弧能力 |
| 4. 基（jī）底與靶材距離（lí）過近 | 4. 調整工（gōng）裝，增大基底與靶材間距（通常 50-200mm，視鍍膜類型（xíng）而定） |
| 無輸出功率（lǜ） | 1. 控製板故障（無觸發信（xìn）號輸出（chū）） | 1. 檢查控製板指示燈，更換損壞的控製板或修（xiū）複觸發（fā）電路（lù） |
| 2. 功率模塊損壞（如 IGBT、晶閘管燒毀） | 2. 檢測功率模塊導通性（xìng），更換同型（xíng）號模塊（需（xū）專業人員操作，避（bì）免靜電損（sǔn）壞） |
| 3. 反饋信號中斷（duàn）（如電壓 / 電流傳感器故障（zhàng）） | 3. 檢查傳感器接線，更換故障傳感器 |
| 顯示異（yì）常（亂碼 / 無顯示） | 1. 顯示屏損壞或排線鬆動 | 1. 重新插拔顯示屏排線；更換顯示屏 |
| 2. 主控板程序出錯或供電異常 | 2. 重啟電（diàn）源複位程序；檢查主（zhǔ）控板供電（diàn）電壓（yā）（通常 5V/12V），修複供電電路 |
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