| 無法啟動 | 1. 主電源（yuán）未接通或電壓（yā）異常 | 1. 檢查供電線（xiàn）路（空氣開關、插座），確認電壓（yā）符合設備額定值（如 380V/220V） |
| 2. 保險管 / 熔斷器燒毀 | 2. 斷（duàn）電後更換（huàn）同規格保險管（需確認無短路後（hòu）再更（gèng）換，避免再次燒毀） |
| 3. 控製信號（如觸發信號、遠程（chéng）控製）未輸入 | 3. 檢查控製線路（PLC 或（huò）手動控製器連（lián）接），確保信號電（diàn）壓（yā） / 電流符合設備要求（如 0-10V 模擬量） |
| 4. 電源內部接（jiē）觸器或繼（jì）電器故障 | 4. 聯（lián）係廠家維修或更（gèng）換接觸器 / 繼電器（需專（zhuān）業人員（yuán）操作（zuò）） |
| 輸（shū）出（chū）電壓（yā） / 電流不穩（wěn）定 | 1. 輸入電壓波動過（guò）大 | 1. 加裝穩壓（yā）器穩定供電；檢查電網是否有其他大功率設備幹擾 |
| 2. 連接線路接觸不良（如電纜接頭鬆動） | 2. 斷電後重新緊固電纜接頭（尤其是靶材、電極（jí）連接線），清潔接頭氧化層 |
| 3. 真空度（dù）不（bú）穩定（真空室漏氣或真空泵故障（zhàng）） | 3. 檢查（chá）真空室密封件（O 型圈），修複（fù）漏氣點；維護真空泵（換油、清理過濾器） |
| 4. 電源內部電壓（yā）反饋電路故障 | 4. 由（yóu）廠家校準反（fǎn）饋電路（lù）或更換損壞元件 |
| 過流保護頻（pín）繁觸發 | 1. 靶材與真空室短路（靶材變形、碎屑搭橋） | 1. 停機後檢查靶材，清（qīng）理碎屑（xiè）；更（gèng）換（huàn）變形靶材，確保靶材與腔體絕緣 |
| 2. 真空度不足（低於工藝要求） | 2. 延長抽真空時（shí）間，檢查真（zhēn）空泵性能；修（xiū）複漏氣點，確保真空度≥1×10⁻³Pa（視工藝而（ér）定） |
| 3. 電源輸出參數設置過高（gāo）（如電流超限） | 3. 降低輸出（chū）電流 / 功率至額定範圍（wéi），重新設置（zhì）參數並保存 |
| 4. 過流保護（hù）電路誤動作（元件老化） | 4. 更換老化的（de）保護（hù）電路元件（如電流傳感器、比較器） |
| 電弧放電頻繁 | 1. 真空度偏低或氣體流（liú）量不穩定 | 1. 提高（gāo）真空度至工藝標準；檢查氣體流量計、閥門，確保流量（liàng）穩定（如氬氣流量 50-200sccm） |
| 2. 靶材表麵汙染（氧（yǎng）化、油汙） | 2. 清潔（jié）靶（bǎ）材表（biǎo）麵（酒精擦拭），或進行預濺射（低功率轟擊 10-20 分鍾） |
| 3. 電源弧抑製參數設置（zhì）不當 | 3. 調整脈衝電源的弧抑製時間（通常 0.1-10μs）和熄弧電流（liú），增強（qiáng）滅弧能力 |
| 4. 基底與靶材距離過近 | 4. 調整工裝，增大基（jī）底與靶材間距（通常 50-200mm，視鍍膜類（lèi）型而定） |
| 無輸出功率 | 1. 控（kòng）製板故障（無觸發信號輸出） | 1. 檢查控製板指示燈（dēng），更換損壞的控製（zhì）板或修複觸發電路 |
| 2. 功率模塊損壞（如 IGBT、晶閘管燒毀） | 2. 檢測功率模塊導通性，更（gèng）換同型號模塊（kuài）（需專業人（rén）員操作，避免靜電損壞） |
| 3. 反（fǎn）饋信號中斷（如電壓 / 電流傳感器故（gù）障） | 3. 檢查傳感器接線，更換故障傳感器 |
| 顯示（shì）異常（cháng）（亂碼 / 無顯示） | 1. 顯示屏損壞或排線（xiàn）鬆動 | 1. 重新插拔顯示屏排線；更換顯示（shì）屏（píng） |
| 2. 主（zhǔ）控板程序出錯或供電異常 | 2. 重啟電源複位程序；檢查主控板供電電壓（通常 5V/12V），修複供電電路 |
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