風冷電源:每月清一次風扇 + 散熱片灰(huī)塵
粉塵一多(duō),功率管發熱→輸出漂移→膜厚不均。
水冷電(diàn)源:
水溫控製 25±5℃
冷卻水(shuǐ)用 去離(lí)子(zǐ)水 / 純淨水,別用(yòng)自來水
每 3 個月(yuè)清洗過濾器(qì),半年換一次水
→ 效果:輸出穩定度直接提升,功率不衰減。
每月檢查:
高壓接頭、輸出端子、接(jiē)地螺絲
有發黑(hēi)、燒痕、氧化必須打磨或更換
高壓線不彎折、不擠壓(yā)、不貼近熱源
→ 效果:打火率下降 30%~70%,鍍膜更均勻(yún)。
每(měi) 6 個月 斷電、充分放電後開(kāi)蓋:
用幹燥壓縮空氣吹電(diàn)路板、電容、IGBT、變壓器
禁止用(yòng)濕布(bù)、禁止(zhǐ)帶電解禁
→ 效果(guǒ):絕緣提升、誤報警減少、控製更精準。
鼓包、漏液、頂部凸起 → 立即換
使用(yòng)超過 2~3 年 的電源,建議(yì)重點檢查
電容劣化直接導致:
紋波變大、輸出跳動、打火增多、膜層發(fā)花。
每季度檢查:
滅弧響應(yīng)速(sù)度
弧能量抑製是否正常
頻繁打火(huǒ)時不要硬扛,要:
清潔真空室
檢查靶材、絕緣件
回檢電源滅弧參數
→ 效果:膜層缺(quē)陷大幅減少,良品率上升。
每半年校準一次:
輸出電壓
輸出電流
功率
脈衝頻率 / 脈寬(脈衝 / 偏壓電源(yuán))
不準的電(diàn)源(yuán) → 膜厚不準、重複性差。
濕度:40%~60%,不凝露
無塵、無腐蝕性氣體、無金屬粉塵
電源周圍留 ≥10cm 通風空間
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