主要型号:
型号(hào) | 功率(kW) | 工作电压(V) | 最 大工作电流(A) | 主机外形尺寸 | 升压转换(huàn)器外形尺寸 | 冷却 方式 |
HVB-5kV1A | 5 | 5kV | 1A | 480*243*565 (WHD) | 220*230*400 (WHD) | 风冷 |
HVB-5kV2A | 10 | 5kV | 2A | |||
HVB-5kV4A | 20 | 5kV | 4A |
主要特点:
A 采用先进的电流型开关电源技(jì)术,减小输(shū)出储能(néng)元件,
同时(shí)提高(gāo)了(le)抑制打火及重启速度(dù)。
B 具备恒流/恒(héng)功率模(mó)式可(kě)选。
C 具有理想的电压陡降特性,自动识(shí)别伪打火现象(xiàng),
充分满(mǎn)足轰击清洗(xǐ)过程的连续性。
D 主要参数(shù)可大范围调节。
E 可选择手动控制(zhì)/模拟量接口控制,可选配(pèi)RS485通讯接口。
采用先进的PWM脉宽调制技(jì)术,使用(yòng)进口IGBT或(huò)MOSFET作为功率开关器件,
体积小、重量轻、功能全、性能稳定可靠,生产工(gōng)艺严格完善。
该系列产品采用先进的DSP控制系统,充分保证镀膜工艺的重复性,
并且(qiě)具有抑制靶材弧光放电及抗短路功能,
具有极佳的负载匹配能力,既(jì)保证了靶面清(qīng)洗(xǐ)工艺(yì)的稳定(dìng)性,又提高了靶面清洗速度(dù);
主要参数均可大范围连续调节;
方便维护,可靠性高;
PLC接(jiē)口(kǒu)和RS485接口扩展功能,方便实现自动化控制。
主要用途:
MSB高压双极(jí)清洗电源适用(yòng)于工件镀膜前的高压轰击清洗和镀硅油保护膜。
在高技术产业化的发展中(zhōng)展现(xiàn)出诱人的市场(chǎng)前景。这种的真空(kōng)镀膜技术已在国民经济各个领域得到应用。真空镀膜技术是真空(kōng)应用(yòng)技术的一个重要分支,它已广泛地应(yīng) 用于光学、电子学、能源开发、理化仪器、建筑机械、包装、民用制品(pǐn)、表面科学以及科学研究等领域中。真空镀膜所采用的方法主要有蒸发镀.溅射(shè)镀、离子镀、束流沉积镀以及分子束外延等。这种真空(kōng)镀膜电源优势会体现的比较明显。

选用了领先的PWM脉(mò)宽调制技(jì)术,具有杰出(chū)的动态特性和抗干扰(rǎo)才能,动态呼应时(shí)刻小于10mS。规划有电压、电流双闭环(huán)操(cāo)控电路,可实时对输出电压(yā)电流的操(cāo)控,能有用处理(lǐ)溅射过程中阴极靶(bǎ)面的不清洁导致弧(hú)光(guāng)放电造成大电流冲击导致电源的损坏疑问(wèn)。选用数字化DSP操控技术,主动操控电源的恒压恒流状况(kuàng)。在起弧和维弧时能主动疾速操控电压电流使起弧和维弧作业更(gèng)安稳。
真空室里的堆积条件跟着时刻发作改(gǎi)动是常见的表象。在一(yī)轮运转过中,蒸发源的特性会跟着膜材的耗费而(ér)改动,尤其是规划中触及(jí)多层镀膜时,假如技术进程需继续数个小时,真空室的热梯度也会上升。一起,当真空室内(nèi)壁发作堆积变脏时,不(bú)一样次(cì)序的工效逐步(bù)发生(shēng)区别。这些要(yào)素虽然(rán)是渐进的并可(kě)以进行(háng)抵偿,但仍然大概将其视为体系公役的一部(bù)分。
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