主要型號:
型號 | 功率 (kW) | 最大工作 電流(liú)(A) | 外形(xíng) 尺寸 | 冷卻 方式(shì) | 空載(zǎi)電壓 (V) | 工作電壓 (V) |
MSDP-10k | 10 | 12.5 | 1單元 | 風冷 | 1000 | 200~800V |
MSDP-20k | 20 | 25 | 1單元 | |||
MSDP-30k | 30 | 37.5 | 2單元 | |||
MSDP-40k | 40 | 50 | 2單元 |

主要特點:
A 明(míng)顯改善靶(bǎ)麵(miàn)電荷積累現象(xiàng),減小濺射表麵的打火次數,提高膜層質量。
B 具有(yǒu)平(píng)均電源穩定功能,具有理想的電壓陡降特性,
充分滿足(zú)磁控濺射工(gōng)藝過程的連續性。
C 空載電壓(yā)≥1000V,工作電(diàn)壓200~800V。
D 頻率40kHz,占空比20%~80%。
E 可選擇手動控製/模擬量(liàng)接口控(kòng)製,可選配RS485通訊接口。
采用先進(jìn)的PWM脈寬調製技術,使用進(jìn)口IGBT或MOSFET作為(wéi)功率開關(guān)器件,
體積小、重量輕、功(gōng)能全、性能穩定可靠,生產工藝嚴格完善。
該係列產品采用先進的(de)DSP控製係統,充分保證鍍膜工(gōng)藝的重(chóng)複性,
並且具有抑製靶(bǎ)材弧光放電及抗短路功能,
具有極佳的負載匹(pǐ)配能力,既保證了靶麵清洗工藝的穩定性,又提高了靶麵清洗速度;
主要參數均可大範圍連續調節(jiē);
方便維護(hù),可靠性高;
PLC接口和RS485接口擴展功能,方便實現自動(dòng)化控製。
主要用途:
單極脈衝磁控濺射適用於金(jīn)屬、合金及石墨等靶材鍍製金屬膜、碳膜和部分氧化物、氮化物(wù)及碳化物膜。
鏡片在接(jiē)受鍍膜前必須進行預清洗,這種清洗(xǐ)要求很高,達到分子級。在清(qīng)洗槽中分(fèn)別放置各種清(qīng)洗液,並采用超聲波加強清(qīng)洗效果,當鏡片清洗完後,放進真空艙(cāng)內,在此過程中要(yào)特別注意(yì)避免空氣中的灰塵和垃圾再黏附在鏡片表麵。最後的清洗是在真空艙內,在此過程中要特別注意避免空氣中的灰塵和垃圾再(zài)黏(nián)附在鏡片表麵。最後的清洗是在真空艙內鍍前進行的,放置在真空艙內的離子槍將轟擊鏡片的表(biǎo)麵(例如用氬離子),完成此(cǐ)道清洗工序後即進行減反射膜的鍍膜。
真空鍍膜電(diàn)源為什麽在現在會應用(yòng)那麽多呢,有哪些(xiē)明(míng)顯的效果?

概念的區別:
1、真空鍍(dù)膜是指在高真空的條件下加(jiā)熱金屬或非金屬材料,使其(qí)蒸發並凝結於(yú)鍍(dù)件(jiàn)(金屬、半導體或絕緣體)表麵而形(xíng)成薄膜的一種方法。例如,真空鍍鋁、真(zhēn)空鍍鉻等。
2、光學鍍膜(mó)是指在光學(xué)零件表麵上鍍上一層(或多層)金屬(或介質)薄膜的工藝過程。在光(guāng)學零件(jiàn)表(biǎo)麵鍍膜的目的是為了達到減少或增加光的反射、分束、分色、濾光、偏振等要求。常用的鍍膜法(fǎ)有真空鍍膜(物理鍍膜的一種)和化學鍍膜。