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真空鍍膜(mó)電源(yuán)廠家
MSDP單極脈衝磁控濺射電源

MSDP單極脈衝磁控(kòng)濺射電源

  • 所屬分類:MSDP單極脈衝磁控濺射電源
  • 瀏覽次數(shù):
  • 發布日(rì)期:2020-10-21 09:43:33
  • 產品概(gài)述
  • 性能特點
  • 技術(shù)參數

主要型號:

型號

功率

(kW)

最大工作

電流(liú)(A)

外形(xíng)

尺寸

冷卻

方式(shì)

空載(zǎi)電壓

(V)

工作電壓

(V)

MSDP-10k

10

12.5

1單元



風冷



1000



200~800V

MSDP-20k

20

25

1單元

MSDP-30k

30

37.5

2單元

MSDP-40k

40

50

2單元


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主要特點:
   A 明(míng)顯改善靶(bǎ)麵(miàn)電荷積累現象(xiàng),減小濺射表麵的打火次數,提高膜層質量。
   B 具有(yǒu)平(píng)均電源穩定功能,具有理想的電壓陡降特性,
充分滿足(zú)磁控濺射工(gōng)藝過程的連續性。
   C 空載電壓(yā)≥1000V,工作電(diàn)壓200~800V。
   D 頻率40kHz,占空比20%~80%。
   E 可選擇手動控製/模擬量(liàng)接口控(kòng)製,可選配RS485通訊接口。
采用先進(jìn)的PWM脈寬調製技術,使用進(jìn)口IGBT或MOSFET作為(wéi)功率開關(guān)器件,
體積小、重量輕、功(gōng)能全、性能穩定可靠,生產工藝嚴格完善。
該係列產品采用先進的(de)DSP控製係統,充分保證鍍膜工(gōng)藝的重(chóng)複性,
並且具有抑製靶(bǎ)材弧光放電及抗短路功能,
具有極佳的負載匹(pǐ)配能力,既保證了靶麵清洗工藝的穩定性,又提高了靶麵清洗速度;
主要參數均可大範圍連續調節(jiē);
方便維護(hù),可靠性高;
PLC接口和RS485接口擴展功能,方便實現自動(dòng)化控製。


主要用途:

單極脈衝磁控濺射適用於金(jīn)屬、合金及石墨等靶材鍍製金屬膜、碳膜和部分氧化物、氮化物(wù)及碳化物膜。


鏡片在接(jiē)受鍍膜前必須進行預清洗,這種清洗(xǐ)要求很高,達到分子級。在清(qīng)洗槽中分(fèn)別放置各種清(qīng)洗液,並采用超聲波加強清(qīng)洗效果,當鏡片清洗完後,放進真空艙(cāng)內,在此過程中要(yào)特別注意(yì)避免空氣中的灰塵和垃圾再黏附在鏡片表麵。最後的清洗是在真空艙內,在此過程中要特別注意避免空氣中的灰塵和垃圾再(zài)黏(nián)附在鏡片表麵。最後的清洗是在真空艙內鍍前進行的,放置在真空艙內的離子槍將轟擊鏡片的表(biǎo)麵(例如用氬離子),完成此(cǐ)道清洗工序後即進行減反射膜的鍍膜。

真空鍍膜電(diàn)源為什麽在現在會應用(yòng)那麽多呢,有哪些(xiē)明(míng)顯的效果?

真空鍍膜電源

概念的區別:

1、真空鍍(dù)膜是指在高真空的條件下加(jiā)熱金屬或非金屬材料,使其(qí)蒸發並凝結於(yú)鍍(dù)件(jiàn)(金屬、半導體或絕緣體)表麵而形(xíng)成薄膜的一種方法。例如,真空鍍鋁、真(zhēn)空鍍鉻等。


2、光學鍍膜(mó)是指在光學(xué)零件表麵上鍍上一層(或多層)金屬(或介質)薄膜的工藝過程。在光(guāng)學零件(jiàn)表(biǎo)麵鍍膜的目的是為了達到減少或增加光的反射、分束、分色、濾光、偏振等要求。常用的鍍膜法(fǎ)有真空鍍膜(物理鍍膜的一種)和化學鍍膜。


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