當前標簽（qiān）：射頻磁控濺射
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主要型號：型號功率(kW)最大工作電流(A)外形尺寸冷卻方式空載電壓(V)工作電壓(V)MSDP-10k1012.51單元風（fēng）冷1000200~800VMSDP-20k20251單元MSDP-30k3037.52單元MSDP-40k40502
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