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真空鍍膜電源

關於真空離子鍍膜的作用

2020-07-25 00:00:00
次(cì)

真空鍍膜電源廠家的在真空離(lí)子鍍膜中,尤其(qí)對於多弧離(lí)子鍍膜,無論是裝飾鍍還是工具鍍,轟偏電源的好壞對於成膜質量都起著非常關鍵(jiàn)的作用。裝飾(shì)鍍和工具鍍對膜層質量的要求(qiú)有相同之處又各(gè)有側重。

離子源電源

離子鍍是真空室(shì)中,利用氣體(tǐ)放電或被蒸發物質部分離化(huà),在氣體離子(zǐ)或(huò)被蒸發物質粒子轟擊作用的同時,將蒸發(fā)物或反應物沉(chén)積在基片(piàn)上。離子鍍把 輝光放電現象(xiàng)、 等離(lí)子體技術和真空蒸發三者有機結合起來(lái),不僅能明顯地改進了膜質量,而且還擴大了薄膜的應用範圍。多弧電源其優點是薄(báo)膜 附著力強,繞(rào)射性好,膜材廣泛等。D.M.首次提出離子鍍原理(lǐ),起工作過程(chéng)是:


先將真(zhēn)空室抽至4×10(-3)帕(pà)以上的真空(kōng)度,再接通高壓電(diàn)源,在蒸發源與(yǔ)基片之間建立一個低壓氣體放電的 低溫等離子區。基片電(diàn)極接上5KV直流負高壓,從而形成光放電陰極。輝光放(fàng)電去產生的惰性氣(qì)體離子進入陰(yīn)極暗區被電場加速(sù)並轟擊基片表麵(miàn),對其進行清洗。然後計入鍍膜過程,加熱使(shǐ)鍍料氣化,起原子進入等離子區,與(yǔ)惰性(xìng)氣體離子及電子發生碰撞,少部分產生離化。離化後的例子及氣體離子以較高能量轟擊鍍層表(biǎo)麵,致使膜層質量得到改善。


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