真空鍍(dù)膜電源采用先進的PWM脈衝寬度(dù)調製技術性,具備良好的動(dòng)態性性能和抗幹擾性才可以,動態性映襯時(shí)時刻(kè)刻十分小。整體規劃有工作電壓.電流量雙閉環控製操控電源電路,可即時對輸出電流電壓的操控。在起弧和維弧時要積極急速操(cāo)控電流電壓使起弧和維弧工作更穩定,減壓穩壓閥精密度大大的發展,能有效節約濺射靶材使用量,發展生產能力,保(bǎo)證 鍍膜品質。
真空機電源的大的特點及產品優點:采用了先進的PWM脈衝寬度調製技術性,具備良好的動態性性能和抗幹(gàn)擾性才(cái)可(kě)以,動(dòng)態性映襯時(shí)時刻刻(kè)低(dī)於10mS。整體規劃有工作電壓(yā).電流量雙閉環(huán)控製操控電源電路,可即時對(duì)輸出(chū)電流(liú)電壓的操控(kòng),能有效解(jiě)決磁控濺射流(liú)程中負極相對(duì)孔徑的不清理造成電光充放電導致大電流量衝擊性造成電源的毀壞疑惑(huò)。

采用智能化DSP操控技術(shù)性,積極操控電源的恒流源恒流電(diàn)源情(qíng)況。在起弧和維弧時要積極急速(sù)操控電(diàn)流電壓使起弧和維弧工作更穩定。具備工作電壓陡降特點,可充足令人滿意射頻濺射的特別要求。
電(diàn)源的輸出電流(liú)電(diàn)壓操控精密度(dù)低於0.2%。具備模(mó)擬量輸入操控插口,客戶的4-20mA數據信號(hào)能操控電源的(de)電流電壓,電源輸出4-20mA數(shù)據信號供客戶的PLC呈現電源的輸出電流電壓。電源的功率因素達到0.95,電源輸出功率≥90%。
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