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GB/T 11164-2011：《真（zhēn）空鍍膜（mó）設備通用技術條件》，規定電源（yuán）的電氣安全、絕緣、接地、溫升、噪聲、可靠性（xìng）等基礎要求。
GB/T 10067.101-2023：《電熱和電磁處理裝置（zhì）基本技術（shù）條件 第 101 部分（fèn）：真空電熱（rè）和電磁處理裝置的通（tōng）用要求》，2024 年 7 月實施（shī），對真空設備電源的通用技術、試驗方（fāng）法、檢驗規則作出最新規範國家標準委。
GB 5226.1-2019：《機械安全 機（jī）械電氣設備 第（dì） 1 部（bù）分：通用技術條（tiáo）件》，電源（yuán）的電（diàn）氣安全、防護等級（IP）、急停、接地等強製要（yào）求。
GB/T 15945-2008：《電能質量 三相電壓不平衡》，工（gōng）業電網適配要（yào）求。
JB/T 8946-2010：《真空離子鍍膜設備（bèi）》，針對離子鍍、多弧、磁控濺（jiàn）射電源的專項技（jì）術要求（qiú）。
JB/T 7673：真（zhēn）空設備電氣控製通用規範。
行業專項：《等離子體用射頻電（diàn）源技術規範（fàn）》《射頻電源技術要求》（行業團體標準）。
DB44/T 2432-2023（廣東）：《真空鍍（dù）膜裝備能效評價規範》，將電壓穩定度、紋波列為一級能（néng）效指標。
光學 / 半導體行業：要求72 小時滿負荷無故障、膜厚均勻性誤差≤±3%。
表格
| 鍍膜工藝 | 推薦電源類型 | 行業標準（zhǔn）核心要求 |
|---|---|---|
| 多弧離子（zǐ）鍍（裝飾 / 工具鍍） | 多弧電源 + 脈衝偏（piān）壓 | 滅弧速度＜500μs，穩弧能力強，抑製靶中毒 |
| 直流（liú）磁控濺射（金屬膜） | 直流磁控電源（yuán） | 紋波＜0.1%，輸出穩定度（dù）≤±0.1% |
| 中（zhōng）頻 / 雙極脈衝（chōng）（反（fǎn）應濺射） | 中頻交流 / 雙極脈衝電源 | 雙極平衡，抑製打弧，適合氧化物 / 氮化物 |
| HIPIMS（高功（gōng）率脈衝磁控） | HIPIMS 專用電源 | 高功率密度，脈衝精（jīng）度（dù）高（gāo），穩定性強 |
| 光學鍍膜（AR/AF/ 增透） | 高精度直流 / 射頻電源 | 極低紋波（＜0.05%），高（gāo）精度（±0.1%），超穩（wěn）定 |
| 射頻濺射 / PECVD（半（bàn）導體 / 薄膜） | 射頻電源（13.56MHz 等） | 自動匹配，功率穩（wěn）定，諧波抑製 |
| 電子槍蒸發 | 電子槍高壓電源 | 高壓（yā）穩（wěn）定，紋波小，滅弧快 |
輸入適配：380V±10%/50Hz 三相，電壓不平衡度≤2%（GB/T 15945）。
輸出精度：電壓（yā） / 電流控製精度 ±0.1%~±0.5%（高端光學 / 半（bàn）導體≤±0.1%）。
穩定度：長期輸出穩（wěn）定度 ≤±0.1%（72 小時滿負荷（hé））。
紋（wén）波 / 噪聲：直流電源 ＜0.1%（優秀＜0.05%）；射（shè）頻電源諧波抑製達標。
滅弧 / 抑弧：多弧（hú） / 濺射電源滅弧響應 ＜1μs~500μs，快速（sù）滅弧防損壞。
功率冗餘：額定功率≥工藝峰值功率的 1.2~1.5 倍，長期負載≤70%~80% 額定。
絕緣電阻：高壓端（duān）對機殼 ≥100MΩ（500V 搖表）。
耐壓測試：輸入 / 輸出對地 2kV/1min 無擊穿、閃絡。
接地（dì）：保護接地（PE）牢固，接地（dì）電阻（zǔ） ＜4Ω。
防護等級：IP20 及以上（防止手（shǒu）指接觸帶電體（tǐ））；工業環境可選 IP54。
保護功能：過壓、過流、過熱、短（duǎn）路、缺相、打火保護，故障自動停機並報警。
MTBF：工業級 ≥50000 小時；高端 ≥100000 小時（shí）。
連續運行：支持 7×24h 滿負荷穩定（dìng）運行（光學 / 半導體強製（zhì））。
環境適應：工作溫度（dù） 0~45℃，濕度 10%~90% RH（無凝露）。
散熱：風冷 / 水冷設計符合 GB/T 10067.101，溫升≤40K（環境溫度 + 40℃）。
支持本地 / 遠程控製（zhì）（RS485/Profinet/EtherNet/IP），兼容主（zhǔ）流 PLC。
可設定電壓（yā）、電流、功率、脈衝參數（頻率、占空比、雙極平衡）。
具備數據記錄（lù）、故障（zhàng）診斷、曆史查詢功能。
廠家（jiā）提供 GB/T 11164、GB 5226.1 等標準（zhǔn）的第三方檢測報告（CMA/CNAS）。
提供 CE、UL、CSA 等國際認證（出口必備）。
提供 MTBF 報告、72 小時滿負荷測試報告、紋波 / 穩定度測試報告（gào）。
帶載測試（shì）：在真空室實（shí）際工況下測試，驗證穩弧、滅弧、紋波、穩定度（dù）。
連續運行：72 小時滿負荷，記錄參數波動、溫升、故障情況。
兼容性：與真空係統（tǒng）、靶材、工（gōng）件架聯動測試（shì），無異常打火、跳閘。
選擇有真空鍍膜電源專項設計能力、參與行業標準起草的廠家。
要求 2 年質保，提供現場安裝（zhuāng）、調試、培訓、24 小時（shí）售後響應。
提供易損件清單（電容、風（fēng）扇、IGBT 等）與長期備件（jiàn）供應。
工（gōng）具 / 裝（zhuāng）飾鍍：優先多弧 + 脈衝偏壓，強（qiáng）調（diào）節能、穩弧、滅弧快。
光學 / 玻璃（lí）鍍（dù）膜：必須高精度低紋波直流 / 射頻，穩定度（dù）≤±0.1%，72 小時無故障。
半導體 / 光伏：射頻 / HIPIMS，自動匹配，諧波（bō）抑製，超高精度與穩定性。
卷繞 / 連續（xù）鍍膜：大功率中頻 / 直流（liú），高可靠性，長壽命設計。
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