主要型號(hào):
型號 | 功率 (kW) | 最大工(gōng)作 電流(liú)(A) | 外形 尺寸 | 冷(lěng)卻 方式 | 空載電壓 (V) | 工作電壓 (V) |
MSDP-10k | 10 | 12.5 | 1單(dān)元(yuán) | 風冷 | 1000 | 200~800V |
MSDP-20k | 20 | 25 | 1單元 | |||
MSDP-30k | 30 | 37.5 | 2單元 | |||
MSDP-40k | 40 | 50 | 2單元 |

主要特點:
A 明顯改善靶麵電荷積累現象,減小(xiǎo)濺射表麵的打火次數,提高膜層質量。
B 具有(yǒu)平均電源穩定功能(néng),具有理想的電壓陡降特性,
充分滿足磁控濺(jiàn)射工藝過程的連續性。
C 空載電壓≥1000V,工作電壓200~800V。
D 頻率40kHz,占空(kōng)比(bǐ)20%~80%。
E 可選擇手動控製/模(mó)擬量接口控製,可選配RS485通訊接口。
采用先進的PWM脈寬調製技(jì)術,使用進口(kǒu)IGBT或MOSFET作為功率開關器件,
體積小、重量輕、功能全、性能穩(wěn)定可靠,生產工(gōng)藝嚴格完善。
該(gāi)係列產品采用先進的DSP控製係(xì)統(tǒng),充分保證鍍膜工藝的重複性(xìng),
並且具有抑製靶材弧光放電及抗短路功能,
具有極佳的負載匹配能力,既保證了靶麵(miàn)清洗工藝的穩定(dìng)性(xìng),又提高了靶麵清洗速度;
主要參數均可大範圍連續調節(jiē);
方便維護,可靠性高;
PLC接口和RS485接口擴展功能,方便實現(xiàn)自動化控製。
主要用途:
單極脈衝磁控(kòng)濺射適(shì)用(yòng)於金屬、合金及石墨等(děng)靶材鍍製金屬(shǔ)膜、碳膜和部分氧化物、氮化(huà)物及碳化物膜。
鏡片在接受鍍膜前必須進行預清洗,這種清洗要求很高,達到分子級。在清洗槽中分別放置各種清洗液,並采用(yòng)超聲波加強清洗效果,當鏡片清洗完(wán)後,放進真空艙內,在此過程中要特別注意(yì)避(bì)免空(kōng)氣中的灰塵和垃圾再黏附在鏡片表麵(miàn)。最後的清洗是在真空艙(cāng)內,在此過程中要特別注意避免空氣中的灰塵(chén)和垃圾(jī)再(zài)黏附在鏡片表麵。最後的清洗是在真空艙內鍍前進行的(de),放置在真空艙內的離(lí)子槍將(jiāng)轟擊鏡片(piàn)的表麵(例如用氬離子),完成此道清洗工序(xù)後(hòu)即進行減反射膜的鍍膜。
真空鍍膜電源(yuán)為什(shí)麽在現在會應用那麽多呢,有哪些明顯的效果?

概念的區別:
1、真空鍍膜是指在高真空的條件下加熱金屬或非金屬材料,使其蒸發(fā)並凝結於鍍件(金屬、半導體或絕緣體)表麵而形成薄膜的一種方法。例如,真空鍍(dù)鋁、真空鍍鉻等。
2、光學鍍膜是指在光學零(líng)件表麵上(shàng)鍍上一層(或多層)金屬(或介質)薄膜的工藝過程(chéng)。在光學零件(jiàn)表麵鍍膜的目的是為了達到減少或增加光的反(fǎn)射、分束、分色、濾光、偏振等要求。常用的鍍(dù)膜法有真空鍍膜(物(wù)理鍍(dù)膜(mó)的一種)和化學鍍膜。
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