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真空(kōng)鍍膜電源廠家
江蘇MSDP單極脈衝磁控濺(jiàn)射電(diàn)源

江蘇MSDP單極脈衝磁控濺射電源

  • 所屬分類(lèi):江蘇MSDP單極脈衝磁控(kòng)濺射電源
  • 瀏覽次數:
  • 發布(bù)日期:2020-10-21 09:43:33
  • 產品概述
  • 性能特點
  • 技術參數

主(zhǔ)要型號(hào):

型號

功率

(kW)

最大工作

電流(A)

外形

尺寸(cùn)

冷卻

方式

空(kōng)載電壓

(V)

工作電壓

(V)

MSDP-10k

10

12.5

1單元



風(fēng)冷



1000



200~800V

MSDP-20k

20

25

1單元

MSDP-30k

30

37.5

2單元

MSDP-40k

40

50

2單元


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主要特點:
   A 明顯(xiǎn)改善靶麵電荷積累現象,減小濺射表麵的打火(huǒ)次數,提高膜層質量。
   B 具有平均電源穩定功能,具(jù)有理想的電(diàn)壓陡降特性,
充分滿(mǎn)足磁控濺射工(gōng)藝過程的連續性。
   C 空載電壓≥1000V,工作電壓200~800V。
   D 頻(pín)率40kHz,占空比(bǐ)20%~80%。
   E 可選擇手動控製/模擬量接口控製,可選配RS485通訊接口。
采(cǎi)用先(xiān)進(jìn)的PWM脈寬調製技術,使用進口IGBT或MOSFET作為功率開關器件,
體積小、重量輕、功能全、性能(néng)穩定可靠,生(shēng)產工藝嚴格完善。
該係列(liè)產品采用先進的DSP控製係統,充分保證鍍膜工藝的重(chóng)複(fù)性,
並(bìng)且具有抑製(zhì)靶材(cái)弧光放電及抗(kàng)短路功(gōng)能,
具有極佳的負載(zǎi)匹配能力,既(jì)保證了靶麵清洗工藝的穩定(dìng)性(xìng),又提高了靶麵清洗速(sù)度;
主要參數均可大範圍連續調節;
方(fāng)便維護,可靠性高;
PLC接口和RS485接口擴(kuò)展(zhǎn)功能,方便實現自動化控製。


主要用途:

單極脈衝磁控濺射適用於金屬、合金及石墨等(děng)靶材鍍製(zhì)金屬膜、碳膜和部(bù)分氧(yǎng)化物、氮化物及碳化物(wù)膜。


鏡片在接受鍍膜前必須進行預清洗,這種清洗要求很高,達到分子級。在清洗槽中分別放置各種清(qīng)洗液,並(bìng)采用超聲波加強清洗效果,當鏡片清洗完後(hòu),放進真空艙內,在此過程中要特別注意避免空(kōng)氣中的灰塵和垃圾再黏附在鏡片表麵。最後(hòu)的清洗是在真空艙內,在此過程中要特別注意(yì)避免空氣中的灰塵和垃圾再黏附在鏡片表麵。最後的清洗是在真空艙內鍍前進行的,放置在真空艙內的離子槍將轟擊鏡片的表麵(例如用氬離子),完成此道清(qīng)洗工(gōng)序後即進行減反射膜(mó)的鍍膜。

真(zhēn)空鍍膜電源為什麽在(zài)現在會應用那麽多呢,有哪些明顯的(de)效果(guǒ)?

真空鍍膜電源

概念的區別:

1、真空鍍(dù)膜是指在高真空的條件下加熱(rè)金屬或非金屬材(cái)料(liào),使其蒸發並凝結於鍍件(金(jīn)屬、半導體或絕緣體)表麵而形成薄膜的(de)一種(zhǒng)方法。例如,真空鍍鋁、真空鍍鉻等。


2、光學鍍膜是指在(zài)光學零件表麵上鍍上一層(或多層)金屬(或介質)薄膜的工藝過程。在光學零件表麵鍍膜的目的是為了達到減少或增(zēng)加(jiā)光的(de)反射(shè)、分(fèn)束、分色、濾光、偏振等要求。常用的鍍膜法有真空鍍膜(物理鍍(dù)膜的一種(zhǒng))和化(huà)學鍍膜。


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