主要型號:
型號 | 功率 (kW) | 最大工作 電流(A) | 外形 尺寸 | 冷卻 方式 | 空載(zǎi)電壓 (V) | 工作電壓 (V) |
MSDP-10k | 10 | 12.5 | 1單元 | 風冷(lěng) | 1000 | 200~800V |
MSDP-20k | 20 | 25 | 1單(dān)元 | |||
MSDP-30k | 30 | 37.5 | 2單元 | |||
MSDP-40k | 40 | 50 | 2單元 |

主要特點:
A 明顯改善靶麵電荷積累現象,減小濺(jiàn)射表麵的打火次數,提高膜層質量(liàng)。
B 具有(yǒu)平均電源穩定功能,具有理想的電壓陡降(jiàng)特性,
充分滿足磁(cí)控濺射工藝(yì)過程的連續性。
C 空載電壓(yā)≥1000V,工作(zuò)電壓200~800V。
D 頻率40kHz,占(zhàn)空比20%~80%。
E 可選擇手動控製/模擬量接口(kǒu)控製,可選配RS485通訊接口。
采用先進的PWM脈(mò)寬調製技術,使用進口IGBT或MOSFET作為功率開關器件,
體積小、重量輕、功能全、性(xìng)能穩定可靠,生產工藝嚴格完善。
該係列產品采用先進的DSP控(kòng)製係統(tǒng),充分保證鍍膜工藝的重複性,
並且具有抑製靶材(cái)弧光放電及抗短路功能,
具(jù)有極佳的負載匹配能力,既保證了(le)靶麵清(qīng)洗工藝的穩定性,又提高了靶麵清洗速度;
主要參(cān)數均可大範圍連續調(diào)節;
方便維護,可(kě)靠性(xìng)高;
PLC接口和RS485接口擴展功(gōng)能,方便實現自動化控製(zhì)。
主要用途:
單極脈衝磁控濺(jiàn)射適用於金屬、合金及石墨等靶材鍍製金屬膜、碳膜和部分氧化物、氮化物及碳化物膜。
鏡片在接受鍍膜(mó)前必須進行預清洗,這種清洗要(yào)求很高,達到分子級。在清洗槽中分別放置(zhì)各種清洗液,並(bìng)采用超聲波加強清洗效果,當鏡片清洗(xǐ)完後,放進真空艙(cāng)內,在此過程中要特別注意避免空氣中(zhōng)的灰塵和垃圾(jī)再黏附在鏡(jìng)片(piàn)表麵。最後的清洗是在真空艙內,在此過程中要特別注意避免空氣中的灰塵(chén)和垃(lā)圾再黏附在鏡片表麵(miàn)。最後的清洗是在真空艙內鍍前進行的,放置在真空艙內的離子槍(qiāng)將轟(hōng)擊鏡片的表麵(例(lì)如用(yòng)氬離子),完成此(cǐ)道清(qīng)洗工序後即進行減反射膜的鍍膜。
真空(kōng)鍍膜電源為什麽在現在會應用那麽多呢,有哪些明(míng)顯的效果?

概念(niàn)的(de)區別(bié):
1、真空鍍(dù)膜是指在(zài)高真空的條(tiáo)件下加熱金屬或非金(jīn)屬材料,使(shǐ)其蒸發並凝結於鍍(dù)件(金屬、半導體或(huò)絕緣體)表麵而形成薄膜的一種方法。例如,真空鍍鋁、真(zhēn)空鍍(dù)鉻等。
2、光(guāng)學鍍膜是指在光學(xué)零件表麵上鍍上一層(或多層(céng))金屬(或介質)薄膜的工(gōng)藝過程(chéng)。在光學(xué)零件表麵鍍膜的目的是為了達到減少或增加光的反(fǎn)射、分束(shù)、分(fèn)色(sè)、濾(lǜ)光、偏振等要求。常用(yòng)的鍍膜法有真空鍍膜(物理鍍膜的一種)和化學(xué)鍍膜。