主要(yào)型號:
型號 | 功率(kW) | 最大工作電流(A) | 外形尺(chǐ)寸 | 冷卻方式 | 空載電壓(V) | 工作電壓(V) |
MSB-10k | 10 | 12.5 | 1單元 | 風冷 | 1000 | 150~800V |
MSB-20k | 20 | 25 | 1單元 | |||
MSB-30k | 30 | 37.5 | 2單元 | |||
MSB-40k | 40 | 50 | 2單元 | |||
MSB-20k | 20 | 25 | 1單元 | 風水冷 | 1000 | 150~800V |
MSB-30k | 30 | 37.5 | 1單元 | |||
MSB-40k | 40 | 50 | 1單元 | |||
MSB-60k | 60 | 75 | 2單元 | |||
MSB-80k | 80 | 100 | 2單元 | |||
MSB-100k | 100 | 125 | 3單元 | |||
MSB-120k | 120 | 150 | 3單元 |

主要特點:
A 采用先進(jìn)的電流型開關電源技(jì)術,減小輸(shū)出儲能元件,
同時提高了抑(yì)製(zhì)打火及重啟速度,應用在(zài)鋁靶鍍膜優勢更為明顯。
B 具備恒流/恒功率模式可選。恒功率模(mó)式相(xiàng)對於傳統的恒流模式,
更能保證鍍膜工藝的重複性。
C 具有理想的電壓陡降特性,自(zì)動識別偽打火現象(xiàng),
充分滿足磁控濺射工藝過程(chéng)的連續性。
D 主要參數可大範圍調節
E 可選(xuǎn)擇手動控製/模擬量接口控製(zhì),可選配RS485通訊接口。
采用先(xiān)進的PWM脈寬調製技術,使用(yòng)進口IGBT或MOSFET作為功率開關器件(jiàn),
體積小、重量輕、功能全、性能穩定可靠,生產工藝嚴格完善(shàn)。
該係(xì)列產品采用先進的DSP控製係統,充分保證鍍膜工藝的重複性,
並且具有抑製靶材弧光放電及抗短路功能,
具有極佳的負載匹配能力,既保證了靶麵清洗工藝的穩定性,又提高了靶麵清洗速度(dù);
主要參數均可大範圍連續調節;
方便維護,可(kě)靠性高;
PLC接口和RS485接口擴展功能,方便實現自動化控製。
MSB係列雙極脈衝(chōng)磁控濺射電源(中頻電源)
主要用途:
雙極脈衝磁控濺射電(diàn)源用於中頻孿生靶磁控濺金屬或非(fēi)金屬材料,特別適合於反應磁控濺射。能增加離化率(lǜ),減少電荷積累引起的異常放電,預防靶表麵中毒現象。





在真(zhēn)空鍍膜(mó)電源時,使用直流負(fù)偏壓電源,其中運用直(zhí)流電源,這個電源的(de)電子方向(xiàng)一直統一,會導致單一品種電(diàn)荷堆積過(guò)高與控製源中和。也就是說用來提供動力(lì)的正負極被中和(hé)了。然後磁控濺射將不再(zài)持續。所以選用脈衝電源。
在真空中製備(bèi)膜層(céng),包含鍍製晶態的金屬(shǔ)、半導體、絕緣體等單質或化合物膜。雖(suī)然化學汽相(xiàng)堆積也選用(yòng)減壓、低壓或等離子體等真空手法,但一般真空鍍膜是指用物理的辦法(fǎ)堆積薄(báo)膜。真空鍍膜有三種方(fāng)式,即蒸發鍍膜、濺(jiàn)射鍍膜和(hé)離子鍍。
真空鍍膜技能初現於20世紀30年(nián)代,四五十(shí)年代開端(duān)呈現工業使用,工(gōng)業化大規模出產(chǎn)開(kāi)端於20世紀80年代,在電子、宇航、包裝、裝潢、燙金印刷等工業中獲得廣泛的使用。真空(kōng)鍍膜是指在真空(kōng)環境下,將某種金(jīn)屬或(huò)金屬化合物以氣相(xiàng)的(de)方式堆(duī)積到(dào)資料外表(通(tōng)常是非金屬資(zī)料(liào)),歸(guī)於物理氣相堆積工藝。由於鍍層常為金屬(shǔ)薄(báo)膜,故也稱真(zhēn)空(kōng)金屬化。廣義的真空(kōng)鍍膜還包含在金屬或非金屬資料外表真空蒸鍍聚合物等非金屬(shǔ)功用性(xìng)薄膜。在所有被鍍資猜(cāi)中,以塑料樶為常見,其(qí)次,為紙張鍍膜。相對於金屬、陶(táo)瓷、木材等資料,塑料具有來曆充(chōng)足、性能易於(yú)調(diào)控、加工方便等優勢,因(yīn)此品種繁多的塑料或其他(tā)高分子資(zī)料作為工程裝修性結(jié)構資料,大量使用於轎車、家電、日用包裝、工藝裝修等工業領域。但塑料資料大多存在外表硬度(dù)不高、外觀不行華(huá)麗、耐磨性低等缺點(diǎn),如在塑料外表蒸鍍一層極薄的金屬薄膜,即(jí)可賦予塑料程亮的金屬外觀,合適的金屬源還可(kě)大大增加資料外表耐磨性能,大大拓寬了塑料的(de)裝修性和使用範圍。
真空鍍膜的功用是多方麵(miàn)的(de),這也決議了其(qí)使用場合非常豐富。整體來說,真空鍍(dù)膜的主要功用包含(hán)賦予被鍍件外表高度金屬(shǔ)光澤和鏡麵效果,在薄膜資料上使膜層具有超卓的隔絕(jué)性(xìng)能,提供優異的電磁屏蔽和導電效果。