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武漢MSDP單(dān)極脈衝磁控濺射電源(yuán)

武(wǔ)漢MSDP單極脈衝磁控濺射(shè)電源

  • 所屬(shǔ)分類:武漢MSDP單極(jí)脈(mò)衝磁控濺射電源
  • 瀏覽次數:
  • 發布日期:2020-10-21 09:43:33
  • 產品概述
  • 性能特點
  • 技術參(cān)數

主要型號:

型號

功率(lǜ)

(kW)

最大工作

電流(A)

外形

尺寸

冷卻(què)

方式

空載電壓

(V)

工作電壓

(V)

MSDP-10k

10

12.5

1單元



風冷



1000



200~800V

MSDP-20k

20

25

1單元

MSDP-30k

30

37.5

2單元

MSDP-40k

40

50

2單元


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主要特點:
   A 明顯改善靶麵電荷積(jī)累現象,減小濺射表麵的打火次數,提高膜層質量。
   B 具有平均電源穩定功能,具有理想的(de)電壓陡降特性,
充分滿足磁控濺射工藝過程的連續性。
   C 空載電壓≥1000V,工作電壓200~800V。
   D 頻率40kHz,占空比20%~80%。
   E 可選擇手(shǒu)動控製/模擬量接口(kǒu)控製,可(kě)選配(pèi)RS485通訊接口。
采用先進的PWM脈寬調製技術,使(shǐ)用進口IGBT或MOSFET作(zuò)為功率開關器件,
體積(jī)小、重(chóng)量輕、功能全、性能穩定可靠,生(shēng)產(chǎn)工藝嚴(yán)格完善(shàn)。
該係(xì)列產品采用先進的DSP控製係統,充分保證(zhèng)鍍膜工藝(yì)的重複性,
並且具有抑製(zhì)靶材(cái)弧光放電及抗短路功能,
具有極佳的負載匹配能力,既(jì)保證了靶麵清洗工藝的穩定性,又提高了靶麵清洗速度;
主要參數(shù)均(jun1)可大範圍連續調節;
方便維護,可靠性高;
PLC接口和RS485接口擴展功能,方便(biàn)實現自動化控製(zhì)。


主(zhǔ)要用途:

單極脈衝磁控濺射適(shì)用於金屬、合金及石墨等靶材鍍製金屬膜、碳膜和部分氧化物、氮(dàn)化物及碳化物膜。


鏡片(piàn)在接受鍍膜前必須進行預清洗,這種清洗要求很高,達到分子級。在清洗槽中分別放置各種清洗液(yè),並采用(yòng)超聲波加強清洗效果,當(dāng)鏡片清洗完後,放進真空艙內,在此過(guò)程中要特別注意避免空氣中的灰塵和垃圾再黏附在鏡片表麵。最後的清洗是在真空艙內,在此過程中要特(tè)別注(zhù)意避免空(kōng)氣(qì)中的灰塵(chén)和垃圾再黏附在鏡(jìng)片表麵。最後的清洗是在真空艙內鍍(dù)前進行的,放置在(zài)真空艙內的離子槍將(jiāng)轟擊鏡(jìng)片的表麵(例如(rú)用(yòng)氬離(lí)子),完成此道清洗工序(xù)後即進行減反射(shè)膜的鍍(dù)膜。

真空鍍膜(mó)電源為什麽在現在會(huì)應用那麽多呢,有哪些明顯的效(xiào)果?

真空鍍膜電源

概念的區別:

1、真(zhēn)空鍍膜是指在高真空的條(tiáo)件下加熱金(jīn)屬或非金屬材料,使其(qí)蒸發並凝結於(yú)鍍件(金屬、半導體或絕緣體)表麵而形成薄膜的一種方法。例(lì)如,真空鍍鋁、真空鍍鉻等。


2、光學鍍膜(mó)是指在光學零件表麵上鍍上一層(或多層)金(jīn)屬(或介質)薄膜(mó)的工藝(yì)過程。在光學零件表麵鍍膜的目的是(shì)為了達到減少或增加光的反(fǎn)射、分束、分色、濾(lǜ)光、偏振等要求。常用的鍍(dù)膜法有真空鍍膜(mó)(物理鍍膜的一種)和化學鍍膜。


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