主要型號:
型號 | 功率(lǜ) (kW) | 最大工作 電流(A) | 外形 尺寸 | 冷卻(què) 方式 | 空載電壓 (V) | 工作電壓 (V) |
MSDP-10k | 10 | 12.5 | 1單元 | 風冷 | 1000 | 200~800V |
MSDP-20k | 20 | 25 | 1單元 | |||
MSDP-30k | 30 | 37.5 | 2單元 | |||
MSDP-40k | 40 | 50 | 2單元 |

主要特點:
A 明顯改善靶麵電荷積(jī)累現象,減小濺射表麵的打火次數,提高膜層質量。
B 具有平均電源穩定功能,具有理想的(de)電壓陡降特性,
充分滿足磁控濺射工藝過程的連續性。
C 空載電壓≥1000V,工作電壓200~800V。
D 頻率40kHz,占空比20%~80%。
E 可選擇手(shǒu)動控製/模擬量接口(kǒu)控製,可(kě)選配(pèi)RS485通訊接口。
采用先進的PWM脈寬調製技術,使(shǐ)用進口IGBT或MOSFET作(zuò)為功率開關器件,
體積(jī)小、重(chóng)量輕、功能全、性能穩定可靠,生(shēng)產(chǎn)工藝嚴(yán)格完善(shàn)。
該係(xì)列產品采用先進的DSP控製係統,充分保證(zhèng)鍍膜工藝(yì)的重複性,
並且具有抑製(zhì)靶材(cái)弧光放電及抗短路功能,
具有極佳的負載匹配能力,既(jì)保證了靶麵清洗工藝的穩定性,又提高了靶麵清洗速度;
主要參數(shù)均(jun1)可大範圍連續調節;
方便維護,可靠性高;
PLC接口和RS485接口擴展功能,方便(biàn)實現自動化控製(zhì)。
主(zhǔ)要用途:
單極脈衝磁控濺射適(shì)用於金屬、合金及石墨等靶材鍍製金屬膜、碳膜和部分氧化物、氮(dàn)化物及碳化物膜。
鏡片(piàn)在接受鍍膜前必須進行預清洗,這種清洗要求很高,達到分子級。在清洗槽中分別放置各種清洗液(yè),並采用(yòng)超聲波加強清洗效果,當(dāng)鏡片清洗完後,放進真空艙內,在此過(guò)程中要特別注意避免空氣中的灰塵和垃圾再黏附在鏡片表麵。最後的清洗是在真空艙內,在此過程中要特(tè)別注(zhù)意避免空(kōng)氣(qì)中的灰塵(chén)和垃圾再黏附在鏡(jìng)片表麵。最後的清洗是在真空艙內鍍(dù)前進行的,放置在(zài)真空艙內的離子槍將(jiāng)轟擊鏡(jìng)片的表麵(例如(rú)用(yòng)氬離(lí)子),完成此道清洗工序(xù)後即進行減反射(shè)膜的鍍(dù)膜。
真空鍍膜(mó)電源為什麽在現在會(huì)應用那麽多呢,有哪些明顯的效(xiào)果?

概念的區別:
1、真(zhēn)空鍍膜是指在高真空的條(tiáo)件下加熱金(jīn)屬或非金屬材料,使其(qí)蒸發並凝結於(yú)鍍件(金屬、半導體或絕緣體)表麵而形成薄膜的一種方法。例(lì)如,真空鍍鋁、真空鍍鉻等。
2、光學鍍膜(mó)是指在光學零件表麵上鍍上一層(或多層)金(jīn)屬(或介質)薄膜(mó)的工藝(yì)過程。在光學零件表麵鍍膜的目的是(shì)為了達到減少或增加光的反(fǎn)射、分束、分色、濾(lǜ)光、偏振等要求。常用的鍍(dù)膜法有真空鍍膜(mó)(物理鍍膜的一種)和化學鍍膜。