主要型(xíng)號:
型號 | 功率 (kW) | 最大工作 電流(A) | 外形 尺寸 | 冷卻 方式 | 空載電壓 (V) | 工(gōng)作電(diàn)壓 (V) |
MSDP-10k | 10 | 12.5 | 1單元 | 風冷 | 1000 | 200~800V |
MSDP-20k | 20 | 25 | 1單元 | |||
MSDP-30k | 30 | 37.5 | 2單元(yuán) | |||
MSDP-40k | 40 | 50 | 2單元 |

主要特點:
A 明顯改善靶麵電荷(hé)積累現象,減小(xiǎo)濺射表(biǎo)麵的打火次(cì)數,提高膜層質量。
B 具有平均電源穩定功能,具有(yǒu)理想的電壓陡降特性(xìng),
充(chōng)分滿足磁控濺射工藝(yì)過程的連續性。
C 空載電壓≥1000V,工作電壓200~800V。
D 頻率40kHz,占空比20%~80%。
E 可選擇手動控製/模擬量接口控製,可(kě)選配RS485通訊接口。
采用先進的PWM脈寬調製技術,使用進(jìn)口IGBT或MOSFET作為功率開關器件,
體積小、重量輕、功能(néng)全、性能穩定可靠,生產工藝嚴格完善。
該係(xì)列產品采用先進的DSP控製(zhì)係統,充分保證鍍膜工藝的(de)重複性,
並且具有抑製(zhì)靶(bǎ)材弧光放電及(jí)抗短路功能,
具有極佳(jiā)的負載(zǎi)匹配能力,既保證了靶麵清洗(xǐ)工藝(yì)的穩定性,又提高了靶麵清洗速度;
主要參數均可大範圍連續調(diào)節;
方(fāng)便維護(hù),可靠性高;
PLC接口和RS485接口擴展功能,方便實現自動化控(kòng)製。
主要用途:
單極脈衝磁控濺射適用於金屬、合金及石墨等靶材鍍製金屬膜、碳膜和部分氧化物、氮化物及碳化(huà)物膜。
鏡片在接受鍍膜前必須進行預清洗,這種清洗要求很高,達到分子級(jí)。在清(qīng)洗槽中分別放置各種清(qīng)洗液,並采用超(chāo)聲波加強清(qīng)洗效果,當鏡片清洗完後,放進真空艙內,在此過程中要特別注意避免空氣中的灰塵和垃圾(jī)再黏附在鏡片表麵。最後的清洗是在(zài)真空艙內,在此過程中要特別注意避免空氣中的灰塵(chén)和垃圾再黏附在鏡片表麵(miàn)。最後的清洗是在真空艙內鍍前進行的,放(fàng)置在真空艙內的離子槍將轟擊鏡(jìng)片的表麵(例如用氬離子),完成此道清洗工序後(hòu)即進行減反(fǎn)射膜的鍍膜。
真空鍍膜電(diàn)源為什麽在現(xiàn)在會應用那麽(me)多呢,有哪些明顯的效果?

概念的區別:
1、真(zhēn)空鍍(dù)膜是(shì)指在高真空的條件下(xià)加熱金屬或非金屬(shǔ)材料,使其蒸發並凝結於鍍件(金屬、半導體或絕緣體)表麵而形成薄膜的一種方法。例如,真空鍍(dù)鋁、真空鍍鉻等。
2、光學(xué)鍍膜是(shì)指在光學(xué)零件表麵上鍍上一層(或多層)金屬(shǔ)(或介質)薄膜的工藝過程。在光學(xué)零(líng)件表麵(miàn)鍍膜的目的是為了達到減少或增(zēng)加光的反射、分束、分色、濾光、偏振等要求。常用的鍍膜(mó)法有真空鍍膜(物理鍍膜的一種(zhǒng))和化學鍍膜。
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