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主要型號:
型號 | 功率(kW) | 最大工作(zuò)電流(A) | 外形尺寸 | 冷(lěng)卻方式 | 空載電壓(V) | 工作電壓(V) |
MSB-10k | 10 | 12.5 | 1單元 | 風(fēng)冷 | 1000 | 150~800V |
MSB-20k | 20 | 25 | 1單(dān)元 | |||
MSB-30k | 30 | 37.5 | 2單(dān)元 | |||
MSB-40k | 40 | 50 | 2單元 | |||
MSB-20k | 20 | 25 | 1單元 | 風水冷 | 1000 | 150~800V |
MSB-30k | 30 | 37.5 | 1單元 | |||
MSB-40k | 40 | 50 | 1單元 | |||
MSB-60k | 60 | 75 | 2單元 | |||
MSB-80k | 80 | 100 | 2單元 | |||
MSB-100k | 100 | 125 | 3單元 | |||
MSB-120k | 120 | 150 | 3單元 |

主要特點:
A 采用先進的電流型開關電源技術,減小輸出(chū)儲能元件,
同時提高了抑製打火及重啟速度(dù),應用在(zài)鋁靶鍍膜優勢更為明(míng)顯。
B 具備恒(héng)流/恒功率模式可選。恒功率模式(shì)相對於傳統的恒(héng)流模式(shì),
更(gèng)能保證鍍(dù)膜工藝的重複性。
C 具有(yǒu)理想(xiǎng)的電壓陡降特(tè)性,自動識別偽打火現象,
充分滿足磁控濺射工藝過程(chéng)的連續(xù)性。
D 主要參數可(kě)大範圍調節
E 可選擇手動控(kòng)製/模擬量接口(kǒu)控製,可選配RS485通訊(xùn)接口。
采用先進的PWM脈寬調製技術,使(shǐ)用進口IGBT或MOSFET作為功率(lǜ)開關(guān)器件,
體積小、重(chóng)量輕、功能全、性能穩定可靠,生產工藝嚴格完善。
該係列產品采(cǎi)用先進的(de)DSP控製係統,充分保證鍍膜工藝的重複性,
並且具有抑製靶(bǎ)材弧光放電及抗短路功(gōng)能,
具有極佳的(de)負載匹配能力,既保證了靶麵清洗工藝的穩定性,又提高了(le)靶麵清洗速度;
主要參數均可大範圍連續調節;
方便維護,可(kě)靠性高;
PLC接口和RS485接口擴展功能,方便實(shí)現自動(dòng)化控製(zhì)。
MSB係列雙極脈衝磁控濺射(shè)電源(中頻電源(yuán))
主要用途:
雙極脈(mò)衝磁控濺射(shè)電源用於中頻孿生靶磁控濺金屬或非金屬材料,特別適合於反應磁控濺射。能增加離化率,減少電荷積累引起的異常放電(diàn),預防靶表(biǎo)麵中毒現象。





在真空鍍膜電源時,使用直流負偏壓電源(yuán),其中運用直流電源,這個電源的電子方向一直統一,會導(dǎo)致單一品種電荷堆積過高與控(kòng)製源中(zhōng)和。也就是(shì)說用來提供動力的正負極被中和了。然後磁控濺射將不再持續。所以選用(yòng)脈衝電源。
在真空中製備膜(mó)層,包含鍍製晶態的金屬、半(bàn)導體、絕緣體等單質或化合物膜。雖然化學汽相堆積也選用減壓、低壓或等離子體等真空手法,但一般真空鍍膜是指用(yòng)物理的(de)辦法堆積薄膜。真空鍍膜有三種方(fāng)式,即蒸發鍍膜、濺射鍍膜和離子鍍。
真空鍍膜技能(néng)初現於20世紀30年代,四五十年代開(kāi)端呈現工業使用,工業化大規模出產開端於20世紀80年代,在電子、宇航、包裝、裝潢、燙金(jīn)印刷等工業中(zhōng)獲得(dé)廣泛的使用。真空(kōng)鍍膜是指在真(zhēn)空環境下,將某種金屬或金屬化合物以氣相的(de)方式堆積到資料外表(通常是非金屬(shǔ)資料),歸於物理氣(qì)相堆積工藝。由於鍍層(céng)常為金屬薄膜,故也(yě)稱真空金屬化。廣義的真(zhēn)空鍍膜還包含在金(jīn)屬或非金屬資料外表(biǎo)真空蒸鍍聚(jù)合物等非金屬功用性薄(báo)膜。在所有被鍍資猜中,以塑料樶為常見,其次,為紙張鍍膜。相對於金屬、陶瓷、木材等(děng)資料,塑料具有來曆充足、性能易於調控、加工方便等優勢(shì),因此品種繁(fán)多的塑料或其他高分子資料作為(wéi)工程裝修性(xìng)結構資料,大量使用於轎車、家電、日用包裝、工藝裝修等工業領域。但塑料資料大多存在外表(biǎo)硬(yìng)度(dù)不高、外觀不(bú)行華麗、耐磨性低(dī)等缺點,如在塑料外表蒸鍍一層極薄(báo)的金屬薄膜,即可(kě)賦予塑料程亮的金屬外觀,合適的金屬源還可大大增加資料外表(biǎo)耐磨性(xìng)能,大大拓寬了塑料的裝修性和使(shǐ)用範圍。
真空鍍膜的功用(yòng)是多方麵的,這也決議了其(qí)使用場合非常豐富(fù)。整體來說,真空鍍膜的主要功用包含賦予被鍍件外表高(gāo)度金屬光澤和鏡麵效果(guǒ),在薄膜資(zī)料上使膜層具有超卓的隔絕性能,提供優異的電磁(cí)屏蔽和導電效果。