主要型號(hào):
型號 | 功率(kW) | 最大(dà)工作電流(A) | 外形尺寸 | 冷卻方式 | 空載電壓(V) | 工作電(diàn)壓(V) |
MSB-10k | 10 | 12.5 | 1單元 | 風冷 | 1000 | 150~800V |
MSB-20k | 20 | 25 | 1單元(yuán) | |||
MSB-30k | 30 | 37.5 | 2單元 | |||
MSB-40k | 40 | 50 | 2單元 | |||
MSB-20k | 20 | 25 | 1單元 | 風水冷 | 1000 | 150~800V |
MSB-30k | 30 | 37.5 | 1單元 | |||
MSB-40k | 40 | 50 | 1單元(yuán) | |||
MSB-60k | 60 | 75 | 2單元 | |||
MSB-80k | 80 | 100 | 2單元 | |||
MSB-100k | 100 | 125 | 3單(dān)元 | |||
MSB-120k | 120 | 150 | 3單元 |

主要特點:
A 采用先(xiān)進的電(diàn)流型開關電源技術,減小(xiǎo)輸出儲能元件,
同時提高了抑製(zhì)打火及重啟(qǐ)速度,應用在鋁靶鍍膜優勢更為明顯。
B 具備恒流/恒功率模(mó)式可選。恒功率模式相對於傳(chuán)統(tǒng)的恒流模式,
更能保證鍍膜工藝的重(chóng)複性。
C 具有理想(xiǎng)的電壓陡降特性,自動識別偽打火現象,
充分滿足磁控濺射工藝(yì)過程的連續性。
D 主要參數可大範圍調節
E 可選擇手動控(kòng)製/模擬量接口控(kòng)製,可選配RS485通訊接口。
采用先進的PWM脈寬調製技術,使用進口IGBT或MOSFET作為功率開關器件,
體(tǐ)積小、重量輕、功能全、性能穩定可靠,生產工藝嚴格完善。
該係列產品采用先進(jìn)的DSP控製係統,充(chōng)分保證鍍膜工藝(yì)的重複性,
並且具有抑製靶材弧光放電及抗短路功能,
具有極佳的負載匹配能力,既保證了靶麵清洗工(gōng)藝的穩定性,又提高了靶麵清洗速度;
主要參數均可(kě)大(dà)範圍連續調節(jiē);
方便維護,可靠性高;
PLC接口和RS485接口擴展功能,方便實現自動化控製。
MSB係列雙極脈衝磁控濺射(shè)電源(中頻(pín)電源)
主要(yào)用途:
雙極脈(mò)衝(chōng)磁控濺射(shè)電源用於中頻孿生靶磁控濺金屬或非金屬材料,特別適(shì)合於反應磁控濺射。能增加離化率,減少電荷積累引起的異常放(fàng)電,預防靶表麵中毒現象(xiàng)。





在真空鍍膜電源時,使用直流負偏壓電源,其中運用直流電源,這個電源的電子方向(xiàng)一直統一,會導致單一品種電(diàn)荷堆積過高(gāo)與控製源中(zhōng)和。也就是(shì)說用來提供(gòng)動力的(de)正負極被(bèi)中和了。然後磁控濺射將不再持續。所以選用脈衝電源(yuán)。
在真空(kōng)中製(zhì)備膜層,包含鍍製晶(jīng)態的金屬、半導體、絕緣體等單質或化合物膜。雖然化(huà)學汽相堆積(jī)也選用減壓、低壓或等離子體等真(zhēn)空手法,但一般真(zhēn)空(kōng)鍍膜是指用物理的辦法堆積(jī)薄膜。真空鍍膜(mó)有三種方式,即蒸發鍍(dù)膜、濺射鍍膜和離子鍍。
真空鍍膜技能初現於20世紀30年代,四五十年代開端呈現工業使用,工業化大規模出產開端於20世紀80年代,在電子、宇航、包裝、裝(zhuāng)潢、燙金印刷等工業中獲得廣泛(fàn)的使用。真(zhēn)空鍍膜(mó)是指在真空環境下,將某種金屬或金屬(shǔ)化合物以氣相(xiàng)的方式堆積到資料外表(通常是非金屬資料),歸於物理氣相堆積工藝。由於鍍(dù)層常為金屬(shǔ)薄膜(mó),故(gù)也(yě)稱真空金屬化。廣義的(de)真空鍍膜還包含在金屬或非金屬資料外表(biǎo)真空蒸鍍聚合物等(děng)非金屬功(gōng)用性薄膜。在所(suǒ)有被鍍資猜中,以塑料樶為常見,其次(cì),為紙張鍍膜。相對於金屬、陶瓷、木材等資料,塑料具有來曆充足、性能易於調控、加工方便等優勢,因此品種繁多的塑料或其他高分子資料作為工程裝修性結構(gòu)資料,大量使用於轎車、家(jiā)電、日用包裝、工藝裝修等工業領域。但塑料資料大多存在外(wài)表硬度不高、外觀不行華麗、耐磨性(xìng)低等缺點,如在塑料外表蒸鍍一層(céng)極薄的金屬薄膜,即可賦予塑(sù)料(liào)程亮的金屬外觀,合適的金屬源還可大大增加(jiā)資(zī)料外表耐磨性能,大大拓寬了塑料的裝修性(xìng)和使用範圍。
真空鍍膜的功用是多方麵的,這也決議了其使用場合非常豐富。整體來說,真空鍍膜的主要功用包含賦予被(bèi)鍍件外表高度金屬光澤(zé)和鏡麵(miàn)效果,在薄膜資料上使膜層具有超卓的隔絕性能,提供優異的(de)電磁(cí)屏蔽和導電(diàn)效果(guǒ)。