脈衝（chōng）磁控濺射是一種用矩形（xíng）波電壓（yā）脈衝電源代替傳統直流電（diàn）源的方法。脈衝濺（jiàn）射可以有效抑製電弧的產生，消除由此產生的薄膜缺陷，同時可以（yǐ）提（tí）高濺射（shè）的沉積速率，降（jiàng）低沉積溫度（dù）等一係列顯著優點，是濺射絕緣材料沉積的工藝。脈衝磁控濺射的工作原理一個周（zhōu）期有正電壓

說起單極脈衝磁控濺射（shè）電源，可能有點困惑，但我想說的是，它是對直流磁控濺射電源的升級，是不是突然明白了？脈衝磁控濺射是用矩（jǔ）形波電壓（yā）脈衝電（diàn）源代替傳統直流電（diàn）源的一種方法。脈衝濺射可以有效地抑製電弧的產生，消除由此產生的薄（báo）膜缺陷，同時可以提（tí）高濺（jiàn）射的