真空鍍膜電源廠家(jiā)的在真(zhēn)空(kōng)離子鍍膜中,尤其對於多弧離子鍍膜,無論是裝(zhuāng)飾鍍還(hái)是(shì)工具鍍,轟偏電源的好壞對於成膜質量都起著非常關鍵的作用。裝飾鍍和工具鍍對膜層質量的要求(qiú)有相同之處又各有側重。

離子鍍是真空室中,利用(yòng)氣體(tǐ)放(fàng)電或被蒸發物質(zhì)部分離化,在氣體離子或被蒸發物質(zhì)粒子轟擊作用的同時,將蒸發物或反應物沉積在基片上。離子鍍把 輝光放電現象、 等(děng)離子體技術和真空蒸發三者有機結合起來,不僅能明顯地改(gǎi)進了(le)膜質量,而且還擴大了薄膜的應用範圍。多弧電源其優點是薄膜 附著力強(qiáng),繞射性好,膜材廣泛等。D.M.首次提出離子鍍原(yuán)理,起工(gōng)作過程是(shì):
先將真空室抽至4×10(-3)帕(pà)以(yǐ)上的真空度,再(zài)接通高(gāo)壓電(diàn)源,在蒸發源與基片之間建立一個低壓氣體放電的 低(dī)溫等離子區。基片(piàn)電極接上5KV直流負高壓,從而形成光放電陰極。輝光放電去產(chǎn)生的惰性氣體離(lí)子進入陰極暗區被電場加速並轟擊基片表麵,對其進行清洗。然後計入(rù)鍍膜過程,加熱使鍍料氣化,起原子(zǐ)進入等離子區,與惰性氣體離子及(jí)電子發生碰撞(zhuàng),少部分產生離化。離化後的例子及氣體離子以較高能量轟擊鍍層表麵,致使膜層質量得到改善。