真空鍍膜機技術中幾種電源的（de）介（jiè）紹

真空鍍膜（mó）機的（de）鍍（dù）膜工藝，應適（shì）用於電（diàn）源，鍍基（jī）材不同，工（gōng）藝不一樣，設備配置（zhì）不（bú）一樣，電源的使用也（yě）不一樣，下麵（miàn）為大家介紹幾種常見的電源：

電弧電源

電弧離子鍍膜中靶（bǎ）材的（de）蒸發和電離須（xū）依靠電弧電源提供能量。在實際的鍍膜過程中（zhōng），電源應能（néng）自動檢測到滅弧現象（xiàng）並自動啟動電弧，以確保鍍膜過程的連續性和均勻性。此外，電弧電源的電弧穩定性能，特別（bié）是小電弧穩定電流，對薄膜的一致性、效率和光潔度有很大影響。一台多弧離子（zǐ）鍍膜（mó）機配備了幾個電弧電源，十幾個，甚至幾十套。穩（wěn）定可靠的運行對整個設備的性能至關重要。電弧電源從傳統的電源，通過使用晶閘管技術，發展到目前的高頻逆變器（qì）。與傳統電磁晶閘管技術製成的電（diàn）弧電源（yuán）相比，高頻逆變（biàn）電弧電源具有以下特點：

1.體積減小，僅為舊電源的一（yī）小部分；相應電（diàn）源的重量僅為傳統電源的十分之一（yī）到十分之一。

2.電源效率明顯提高，比舊電源效率提高約20%-30%。

3.操作（zuò）輕便，電流（liú）調節精度高（gāo），穩流性能好，有利於控製膜厚，保證（zhèng）膜厚的（de）可重複性。

4.高頻逆變模式的電弧電源（yuán）紋波較小（xiǎo），響應速度遠高於舊電源。在相同的電弧源和工作條（tiáo）件下（xià），使（shǐ）用（yòng）高頻逆變電弧電源有利於提高電弧（hú）的穩定性，減少滅弧次數。

磁（cí）控濺射電源（yuán）

從輸出（chū）波形來（lái）看，隨著磁控濺射技（jì）術本身的發展，經曆了直流、單極脈衝、對稱雙極脈衝（中頻磁控（kòng）濺射電源）和雙極脈衝（非（fēi）對（duì）稱中頻磁控濺射功率）幾種方式。目前，新（xīn）型磁控濺射（shè）電源基本采用高頻逆變開關電源技術（shù），中（zhōng）頻磁控濺射電（diàn）源已成為新型磁控濺射設（shè）備電源。為了控（kòng）製膜層的厚度，磁控濺射電源須穩定（dìng）工作並具有（yǒu）良好的恒定特性。目（mù）前，主要（yào）使用恒流模式，也有恒功率模式，很少使用恒壓模（mó）式。此外，磁控濺射鍍膜技術的一個（gè）顯著優點是膜層致密，光潔度好。為了實現這一優（yōu）勢（shì），有必（bì）要在磁控濺（jiàn）射過程中嚴格（gé）限製靶表麵上的點火次數和（hé）每次點（diǎn）火的能量，並盡（jìn）量減少點火力矩引起的宏（hóng）觀靶粒子的數量，這將降（jiàng）低膜層的密度和光潔度，嚴（yán）重導致薄膜脫（tuō）落。

偏壓（yā）電源

偏壓電源用於多弧離子和磁控濺射塗層技術。隻是因為磁控濺（jiàn）射（shè）的電（diàn）離率遠低於多弧離子鍍，所以所需偏壓電（diàn）源的（de）功率較小。目前，許多設備都配備（bèi）了磁（cí）控濺射（shè）靶和多弧靶（bǎ），偏壓電（diàn）源的選擇應根據多單元操作的要求來確定。早期的偏置電壓主要是采用晶閘管技術的直流偏置電源（yuán），現在主（zhǔ）要（yào）是采用高頻逆變技術製造的單極、直流疊加脈衝和雙極脈衝偏置電（diàn）源。偏壓電源主要用於多弧離子（zǐ）和磁（cí）控濺射塗層、離子轟擊（jī）和薄膜沉積過程（chéng）中的輝光清洗，以在鍍覆工件上施加偏壓，並在輝光清洗過程中產生輝光。在離子（zǐ）轟（hōng）擊中用於加速離子，提高離子（zǐ）轟擊進入（rù）工件表（biǎo）麵的能量，達到濺射清洗效果和提高薄膜（mó）結合力的目（mù）的，在薄膜沉（chén）積中，它還用於增加離子能量，促進和改善（shàn）薄膜生長，還將提高薄膜基部結合力，以下是偏壓電源（yuán）的幾種常（cháng）見波形：

單極脈衝偏壓電源

主（zhǔ）要特點

1.高（gāo）頻（pín）單極脈衝偏壓作用在工件上（shàng），與直流偏壓相比，由於（yú）存在電壓中斷間隙，可以有效減少（shǎo）點火次數，保護工件表麵。

2.在脈衝間隙期間，工件表麵積累的電荷可（kě）以被中和，從而減少表麵電荷積累引（yǐn）起的點火。

3.高頻逆變技術的快速關斷能力能（néng）有效減少每次火花釋放的能量，即使出現火花，也能顯（xiǎn）著降（jiàng）低對工件表麵（miàn）的大損傷程度（dù）。

4.在脈衝間隙期間沉積（jī）到工件表麵的離子能量非常低。

5.通過調節頻率和占空比，可以提高和控製成膜速度和質量。

直流疊加（jiā）脈衝偏壓（yā）電（diàn）源

主要特點

1.具有單極脈衝偏壓電（diàn）源的所有特（tè）性。

2.在直流和（hé）直流疊（dié）加脈衝模（mó）式下，消除了單（dān）極脈衝間隙之間離子能量低的問題。

雙極脈衝偏壓電源

主要特點

1.負脈衝的作用與單極脈衝偏壓電源相同，正脈衝的作用主要是吸引等離子體中的（de）電子，以中和工件（jiàn）表麵積累的（de）正電荷。因為電子的質量比離子的質（zhì）量小得多，所以加速很容（róng）易，所以正脈衝的幅度比（bǐ）負脈衝（chōng）的幅度小得多。通（tōng）常為10~100V，正負（fù）脈衝的電流積分應（yīng）該相等（děng）。因此，正電源的功率遠小於負電源的功率。

2.當正電（diàn）源電壓為零時，雙極性脈衝偏（piān）壓變為單極性脈衝偏壓。