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主要(yào)型(xíng)號:
型號 | 功率(W) | 工作電壓(V) | 蕞大峰值電流(A) | 外形尺寸 | 冷卻方式 |
MS-10A | 400W | -40~+40 | -10~+10 | 482*175*550 (WHD)[4U] | 風冷 |
MS-20A | 800W | -40~+40 | -20~+20 | ||
MS-30A | 1200W | -40~+40 | -30~+30 |
主要特點:
A 可選擇三角波、矩形波、正弦波(bō)三(sān)種(zhǒng)波形,波形的蕞高值和蕞低(dī)值可獨立設(shè)置。
B輸出電壓範圍:-40V~+40V。
C波形頻率範圍:0.1-50Hz
D三角波、矩形(xíng)波占空比10%~90%
E 可選擇手動控製/模(mó)擬量接口控製,可選配RS485通訊接(jiē)口(kǒu)。
采用先進的(de)PWM脈寬調製技術,使用(yòng)進口IGBT或MOSFET作為功(gōng)率開關器件,
體積小、重量輕、功能全、性能穩(wěn)定可靠,生產工藝(yì)嚴格完(wán)善。
該係列產品采用先進的DSP控製(zhì)係統,充分(fèn)保證鍍膜工藝的重複性,
並且具(jù)有抑製靶材(cái)弧光放電及抗短路功能,
具有極佳的負載匹配能力,既保證了靶麵清洗工藝的穩定性,又提高(gāo)了靶麵(miàn)清洗速度;
主要參數均可大範圍連續調節;
方便維護,可靠性高;
PLC接口和RS485接口擴展功能,方(fāng)便實現自(zì)動化控製。
主要用途:
MS係列勵磁多波形電源選擇多種電壓波形輸出。通過(guò)驅動多弧靶外(wài)圍磁場線圈,產生周期性可變磁磁場,使多弧輝光由原來的集中放電變為均勻放電,提高工件膜層質(zhì)量

在真空鍍膜時,使用直流負偏壓電源,其中運用(yòng)直流電源,這個(gè)電源的電子方向一直統一(yī),會導致單一品種電荷堆積過高與控製源中和。也就是說用來提供(gòng)動(dòng)力的正負極被(bèi)中和了。然後磁控濺射將不再持續。所以選用脈衝電源。真空鍍膜一種由物理(lǐ)辦法發生薄(báo)膜資料的(de)技(jì)能。在真空室內(nèi)資料的原子從加(jiā)熱源離析(xī)出來打到被鍍物體的外表上(shàng)。此項技能樶先用於出產光學鏡片,如航海望遠鏡(jìng)鏡片(piàn)等。後延伸到其他功用薄膜,唱片鍍鋁(lǚ)、裝修鍍膜和資料(liào)外表改性等。如手表(biǎo)外殼鍍仿金色,機械刀具鍍膜,改變加工(gōng)紅硬性。真空鍍膜是一(yī)種由物理方法產(chǎn)生薄膜材料的技術,在真空室內材料的原子從加(jiā)熱源離析出來打到被鍍物體的表麵上。

(1)在真空鍍膜機運轉正常情況下,開動真空鍍膜機時,必須先開水管,工作中應隨時注意水壓。
(2)在(zài)離子轟(hōng)擊和蒸發(fā)時,應特別注意高(gāo)壓電線接(jiē)頭,不得觸動,以防觸電(diàn)。
(3)在(zài)用電(diàn)子槍鍍膜時,應(yīng)在鍾罩外圍上鋁板。觀察窗的玻璃樶好用鉛玻璃,觀察時應戴(dài)上鉛玻璃眼鏡,以防(fáng)X射線侵害人體。
(4)鍍製多層介質膜的鍍膜間,應安裝通風吸塵裝置,及時排除有(yǒu)害粉塵。
(5)易燃有毒物品要妥善保管,以(yǐ)防失(shī)火中(zhōng)毒。
(6)酸洗夾具應在通(tōng)風裝置內進(jìn)行,並要戴橡皮手套。
(7)把零件放入酸洗或堿洗槽中時,應輕拿輕放,不得碰撞及濺出。平時酸洗槽盆(pén)應加蓋。
(8)工(gōng)作完畢(bì)應斷電、斷水。