MSD系列（liè）小功率直流磁控溅射电源

主要型号：

主（zhǔ）要特点：
   A 采（cǎi）用先进的电流（liú）型开关电源技术，减小输（shū）出（chū）储能元件，
同（tóng）时提高了抑制打火及重启速度，应（yīng）用在铝靶（bǎ）镀膜优势更为明（míng）显。
   B 具备恒流/恒功（gōng）率模式可选。恒功率模式相对于（yú）传统的恒流模式，
更能保（bǎo）证镀（dù）膜工艺的重复性。
  C 具有理想的电压陡（dǒu）降特性，自动识别伪打火现象，
充分满（mǎn）足磁控溅（jiàn）射工艺（yì）过程的连续性（xìng）。
  D 可选择手动控（kòng）制/模拟（nǐ）量接口控制，可选配RS485通讯（xùn）接口。
  E 专门为试验型真空设备定制，相对生产型设备的直流磁控溅射电源，
为（wéi）客户减小电源体积和降低成本
采用先进的PWM脉宽调制技术，使用进口IGBT或MOSFET作为功率开关器件，
体积小（xiǎo）、重量轻、功能全、性能稳定（dìng）可靠，生产工艺严格完善。
该系列产品（pǐn）采（cǎi）用先进的DSP控制系统，充分保证镀膜（mó）工艺的重复性，
并且（qiě）具有抑制靶材弧光放电及抗短路功能，
具有极佳的负载匹配能力，既（jì）保证了靶面清洗工艺的稳定性（xìng），又提高了靶面清洗速度；
主要参数（shù）均可（kě）大范围（wéi）连续调节；
方便维护，可靠性高；
PLC接口和RS485接（jiē）口扩展功能，方（fāng）便实现自动化控制。

主要用途：

直流磁控溅射用于镀制各种金属。

真空镀膜电源的故障现象分析及排（pái）除，在实际使用的过程中，真空镀膜机就出现过不少故障，其中高压电源部分的故障较多，也比较复杂，下面就几种（zhǒng）典型的（de）故障进行分析。

1、增加（jiā）电子束流时，高压没有指示

真空镀膜机在正常工作的时（shí）候，设备的主开关电（diàn）路中的开关管处于饱和的导（dǎo）通状态，当管压下降保持在100V左右的时候，栅极（jí）得到正偏压50V，高压指示6kV（或10kV）。从检测电路上得到的电压控制信号（hào）不足以使稳压管击穿导通。在不正常的（de）情况下，增加束流时，由于束斑的位置不在中心，电子束可能会（huì）打到坩埚的边缘，或（huò）者束斑的位置在中心，但蒸镀的材料被打穿等（děng）原因，都会出现高压无指示。这（zhè）是由（yóu）于高压输出被近（jìn）似短路，造成电子束流大于预定的值，主（zhǔ）开关管处于截止（zhǐ）状态，承受全部的高压，让高压无法输出。由于打火而（ér）造成束流（liú）过大的时候，在电流检测电路时取得的过流信号，使得（dé）稳压管被击穿导通，管压处于导通状态，这时高压就没有指示了。

2、无束流时，高压指示不稳定

在正常的情况下，即使有束流（liú）高压指示也（yě）应该是稳定的，无束流时高压指示不稳定，高压表指针（zhēn）就会来回的摆动（dòng），这就是不正常（cháng）情况。从原理上分析，高压（yā）电源和负载有问题都（dōu）会出现（xiàn）这种现象。为（wéi）了便于排查，先将高压电（diàn）源和负载分开，如果问（wèn）题（tí）还在，就证明问题不在负载那方面，而是在高压电源那方面，高压电源是由高压部分和自动电源的主开关管进行切断的。当有束流时，高压指示频繁（fán）的摆动，就是高压出现连续（xù）性的过流打火，自动复（fù）位部分就开始运（yùn）行，使得高压电源（yuán）的主开关管始终处在切断和导通这两种状态，反映（yìng）在高压表上的指针就金频繁的摆动。在实际的修理过程中发现，有时会出现这种故（gù）障并不是由于高压电源内部的原因，而是真空室（shì）内有污染，因为设备使用了很多年，钟罩内壁上聚集了（le）许（xǔ）多蒸镀的材料。在有束流的情况（kuàng）下，会产生二次、三次电子，从而产生较大的假（jiǎ）束（shù）流（liú），使得主开关管不（bú）停的导通和截止，高压指（zhǐ）示就（jiù）不稳定了。消除这种故（gù）障，可先将电子枪、坩（gān）锅、高压电极进（jìn）行彻底地清洗，如味故障还没有补消除，再将钟罩内所有的器件和钟（zhōng）罩（zhào）内壁进行彻底的清洗，故障就会被消除，高压指示就不会在频繁的摆动了。