MSD係列小功（gōng）率直流磁控濺（jiàn）射電源

主要型號：

主要特點：
   A 采用（yòng）先進的電（diàn）流型開關電源技（jì）術，減（jiǎn）小輸出儲能元件，
同（tóng）時提高了（le）抑製打（dǎ）火及（jí）重（chóng）啟速度，應用在鋁靶鍍（dù）膜優勢更為明顯（xiǎn）。
   B 具備恒流/恒（héng）功（gōng）率模式可選。恒功率模（mó）式相對於傳統的恒流模式（shì），
更能保證鍍膜工藝的重複性。
  C 具有理想的（de）電壓陡降特性，自動（dòng）識別偽打火現象，
充分滿足磁控濺射工藝過程的連（lián）續性。
  D 可選擇手動控製/模擬量接口控製，可選配RS485通訊接口。
  E 專門（mén）為試驗型真空設備（bèi）定製（zhì），相對生產（chǎn）型設備的（de）直流磁（cí）控濺（jiàn）射電源，
為（wéi）客戶（hù）減（jiǎn）小電（diàn）源體積和降低（dī）成本（běn）
采用先（xiān）進的PWM脈寬調製技術，使用進（jìn）口IGBT或MOSFET作（zuò）為功率開關器件，
體積小、重量輕、功能全、性能穩定可靠，生產工藝嚴格完善。
該係列產品采用先進的DSP控製係統（tǒng），充分保證鍍膜工藝的重複（fù）性，
並且具有抑（yì）製靶材弧光放（fàng）電及（jí）抗短路功（gōng）能，
具（jù）有極佳的負載匹配能力，既保證了靶麵清（qīng）洗（xǐ）工藝（yì）的穩定性，又提高（gāo）了靶麵清洗速度；
主要參（cān）數均（jun1）可大範圍連續調節；
方便維護，可靠性高；
PLC接口和RS485接口擴展功能，方便實現自動化控製。

主要用途：

直流磁（cí）控濺射用於鍍製各種（zhǒng）金屬（shǔ）。

真空鍍膜電源的故障現象分析及排除，在實際使用的過程中，真（zhēn）空鍍膜機就出現過不少故障，其中高壓電源部分的故（gù）障較多，也比較複雜，下（xià）麵就幾種典型的（de）故障進行分析。

1、增加（jiā）電子束流時，高壓沒有指示

真空鍍膜機在正常工作的時候，設備的主開關電路中的（de）開關管處（chù）於飽（bǎo）和的導通狀態，當管壓下降保持在100V左右的時候（hòu），柵極（jí）得（dé）到正偏壓50V，高壓指示6kV（或10kV）。從檢測電路（lù）上得到（dào）的電壓控製信號不足（zú）以使穩壓管擊穿導通。在不正常的（de）情（qíng）況下，增加束流（liú）時，由於束斑的位（wèi）置不在中（zhōng）心，電子束可能會打到坩堝（guō）的邊緣，或者束斑的位置在中心，但蒸鍍的材料被打穿（chuān）等原因，都會出現高壓無指示。這是由於高壓（yā）輸出被近似短路，造成電子束流大於預定的值，主開關（guān）管處於截止狀態，承受全部的高（gāo）壓（yā），讓高壓無法輸出。由於打火而造成（chéng）束流過大的時候，在電流檢（jiǎn）測電路（lù）時取得的過流信號，使得穩壓管被（bèi）擊穿導通，管壓處於導通狀（zhuàng）態，這時高壓就沒有指示了（le）。

2、無束流時，高壓指示不穩定

在正常的情況下（xià），即使有束流高壓指示也（yě）應該是穩定（dìng）的，無束流時高壓指示不穩定，高壓（yā）表指針就會來（lái）回的擺動，這（zhè）就是不正常情（qíng）況。從（cóng）原理（lǐ）上分析，高壓電源和負載有問題（tí）都會出現（xiàn）這種（zhǒng）現象。為了（le）便於（yú）排查，先將高壓（yā）電源和負載分開（kāi），如果問題還在，就證明（míng）問題不在負載那方麵，而是在高壓電源那（nà）方麵，高壓（yā）電源是由高壓部分和自動電源的主開關管進行切斷的。當有束流（liú）時，高壓（yā）指示頻繁的擺（bǎi）動，就是高壓出現連（lián）續性的過流打火（huǒ），自動（dòng）複位部分（fèn）就開始運行，使得高壓電源的主開關管始終處在切斷和（hé）導通這兩種狀態，反映在高壓表上的（de）指針就金頻繁的擺動（dòng）。在實際的修（xiū）理過程中發現，有時會出現這種故障並不是由於（yú）高壓電源內部（bù）的原（yuán）因，而是真空室內有汙染，因為設備使用了很多年（nián），鍾罩（zhào）內壁上聚集了許多蒸鍍的材（cái）料。在有束流的情況下，會產生二次、三次電子，從而（ér）產生較大的假束流，使得主開關管（guǎn）不停的導通和截止，高壓指示就不穩定了。消除這種故障，可先將電子槍、坩（gān）鍋、高壓電（diàn）極進行徹底地（dì）清洗，如味故障還（hái）沒有補消除（chú），再將鍾罩內所有的器件和鍾罩內壁進行徹底的清洗（xǐ），故障（zhàng）就會被消除，高壓指示就不會在頻繁的擺動了。