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浙江MSD係列直流磁控(kòng)濺射電源

浙江MSD係(xì)列直流磁控濺射電源

  • 所屬分類:浙(zhè)江MSD係列直流磁控濺射電(diàn)源
  • 瀏覽次數:次(cì)
  • 發布日期:2020-05-21 14:13:28
  • 產品概述
  • 性能特點
  • 技術參數

主要型號:

型號

功率(kW)

蕞大工作

電(diàn)流(liú)(A)

外形尺(chǐ)寸

冷卻方式

空載電壓(V)

工作電壓(V)

MSD-10k

10

12.5

1單元


風冷

480*243*565

(WHD)(3U)



1000



150~800V

MSD-20k

20

25

1單元

MSD-30k

30

37.5

2單元

MSD-40k

40

50

2單(dān)元

MSD-20k

20

25

1單元



風水冷

480*280*580

(WHD)(3U)




1000




150~800V

MSD-30k

30

37.5

1單元

MSD-40k

40

50

1單元

MSD-60k

60

75

2單元(yuán)

MSD-80k

80

100

2單元

MSD-100k

100

125

3單元

MSD-120k

120

150

3單元


主要特點:
   A 采用先進的電流型開(kāi)關電源技術,減小輸出儲能元件,
同時提(tí)高了抑製打火及重啟速(sù)度,應用在鋁靶鍍膜優勢更為明顯。
   B 具備恒流/恒功率模(mó)式可(kě)選(xuǎn)。恒功率模式相對於傳統的恒流模式(shì),
更能保證鍍膜工藝(yì)的重複性。
  C 具有理想的電壓陡(dǒu)降特性,自動識別偽打火現象,
充分滿足磁控濺射(shè)工藝過程的連(lián)續性。
  D 主要(yào)參數可大範(fàn)圍(wéi)調(diào)節
  E 可選擇手動(dòng)控製/模擬量接口控製,可選配RS485通(tōng)訊接口。
  F 采用進口大功率IGBT&MOS模塊
采用(yòng)先進的PWM脈寬調製技術,使用(yòng)進口IGBT或MOSFET作為(wéi)功率開關器件,
體積小、重量(liàng)輕、功(gōng)能(néng)全、性能穩定可靠,生產工藝嚴格完善。
該係列產品采用先進的DSP控製係統,充分保證鍍膜(mó)工藝的重複性,
並(bìng)且(qiě)具有抑製靶(bǎ)材弧光放電及(jí)抗短(duǎn)路功能(néng),
具有極佳的負載匹配能力(lì),既保證了靶麵(miàn)清(qīng)洗工藝的穩定性,又提高了靶麵清(qīng)洗速度;
主要參數均可大範圍連續調節(jiē);
方便維護,可靠性高;
PLC接口和RS485接口擴展功能,方便實(shí)現自動(dòng)化(huà)控製。


主要用途:

直流磁控濺射用於鍍製各種金(jīn)屬



在電子科(kē)技快速發展的時代中,電源的應用可以說是(shì)隨處可見的,或許正是(shì)因為電源的普遍應用,所以電源的類型也隨之而多樣。真空(kōng)鍍膜電源是眾多電源類(lèi)型(xíng)中的一種,這種電源與普通的電(diàn)源有一定的(de)區(qū)別,單是電(diàn)源的(de)外觀就有明顯的不同。

真空鍍(dù)膜電源,

     真空鍍膜機光學(xué)鍍膜加工上有什麽要注意的嗎?當光線進入不同(tóng)傳遞(dì)物質時(如由空氣進入玻璃),大約有5%會被反射掉,在光(guāng)學瞄(miáo)準鏡中有許(xǔ)多透鏡和折射鏡,整個加起來(lái)可以讓入射光線損失達30%至40%。現代光學透鏡(jìng)通常都鍍有單層或多層氟化鎂的增透膜,單層增(zēng)透膜可使反射(shè)減少至1.5%,多層增透膜則可(kě)讓反射降低至0.25%,所(suǒ)以整個瞄(miáo)準鏡(jìng)如果加以適當鍍(dù)膜(mó),光線透穿率可達95%。鍍了單層增透膜的鏡片通(tōng)常是藍紫色或是紅色,鍍多層增(zēng)透膜(mó)的鏡片則呈淡綠色或(huò)暗紫色(sè)。


真空鍍膜機增透膜增加透(tòu)射光強度的實質是作為電磁波(bō)的光波在傳播的過(guò)程中,在不同介質的分(fèn)界麵上,由於(yú)邊界條件的不同,改變了其能量的(de)分布。對於單層薄膜來(lái)說,當增透膜兩邊介質不同時,薄膜厚(hòu)度為1/4波長的(de)奇數倍且薄膜的折射率(lǜ)n=(n1*n2)^(1/2)時(分(fèn)別是(shì)介質1、2的折射率),才可以使入射光全部透過介質。一般光學(xué)透鏡都是在空氣中使用,對(duì)於一般折射率在1.5左(zuǒ)右的光學玻璃,為使單(dān)層膜(mó)達到100%的增透效果,可(kě)使n1=1.23,或接近1.23;還要(yào)使增透薄膜的厚度=(2k+1)倍四分之一個波長。單層膜隻對某一特定波長的(de)電磁波增透,為(wéi)使在更大範(fàn)圍內和更多波長實現增透,人們利用鍍多層膜來實現。


人們對增透膜的利用有了很多的經驗,發現了不少可(kě)以作為增(zēng)透(tòu)膜的材料;同時也掌握了不少先進的鍍膜技術,因此增透膜的(de)應用涉及醫學、軍事、太空探索等各行各(gè)業,為人類科技(jì)進步作出了重大貢獻。


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