浙江MSD係列小功率（lǜ）直流磁控濺射電源

主要型號：

主要（yào）特點：
   A 采用先進的電流型開關電源技術，減小輸出儲能元件，
同時提高了抑製打火及重啟速度，應（yīng）用在鋁靶鍍膜優勢（shì）更為（wéi）明顯。
   B 具備恒流/恒功率模式可選。恒功率模式相對於傳（chuán）統的恒流模式，
更（gèng）能保證鍍膜工藝的重複性。
  C 具有理想的電壓陡降特性，自動識別偽打火現象，
充分滿（mǎn）足磁控濺射（shè）工藝過程的連續性。
  D 可選擇手動（dòng）控製/模擬量接口控製，可（kě）選配RS485通訊接口。
  E 專門為試驗型真空設備定製，相（xiàng）對生產型設（shè）備的直（zhí）流磁（cí）控濺射電源，
為客戶減小電（diàn）源體積和降低成本（běn）
采用先進的PWM脈寬調製技術，使用（yòng）進口IGBT或MOSFET作為功率開關器件（jiàn），
體積小、重量輕、功能全、性能穩定可靠，生產工藝嚴格（gé）完善。
該（gāi）係列產品采用先進的DSP控製係統，充（chōng）分保證鍍膜（mó）工藝的重複性，
並且具有抑製靶材弧光放電及抗短路功能，
具有極佳的負載匹配能力，既保證了（le）靶麵清洗工藝的穩定性（xìng），又提高了靶麵清洗速（sù）度；
主要參數均可大範圍連續（xù）調節；
方（fāng）便維護，可靠性高；
PLC接（jiē）口和RS485接口（kǒu）擴展功能，方便實現（xiàn）自動化控製。

主要用途：

直流磁控濺射用於（yú）鍍製各種金屬。

真空鍍膜電（diàn）源的故障現象分析及排除，在實際使用的過程中，真空鍍膜機就出現過（guò）不少（shǎo）故障，其中高壓電源部分的故障較多，也比較複雜，下麵（miàn）就幾（jǐ）種典型（xíng）的故障進行分析。

1、增加電（diàn）子束流時，高壓沒有指示

真空鍍膜（mó）機在正常（cháng）工作的時候，設備的主（zhǔ）開關電路中的開關管處於飽（bǎo）和的導通狀態，當管壓下降（jiàng）保持在100V左右的時候，柵極得到正偏壓50V，高壓（yā）指示6kV（或10kV）。從檢測電路上得到的電（diàn）壓控製信號不足以使穩壓管擊穿導通。在不正常的情況下（xià），增加束流時，由於束斑的位（wèi）置不在中心（xīn），電子束可能會打（dǎ）到坩（gān）堝的邊緣，或者（zhě）束斑的位置在中心，但蒸鍍的（de）材料被打穿等（děng）原因，都會出現高壓無指示。這是由於高壓輸出被近似短路，造成電子束（shù）流（liú）大於預定的值，主開關管處於截止狀態，承受全部的高壓，讓高壓無法輸（shū）出。由於打火而造成束流過大的時候，在電流檢測電路時取得的過流信號，使得穩壓管被擊穿導通，管壓處於導通狀態，這時高壓就沒有指示了。

2、無束流時，高壓指示不穩定

在正常的（de）情況下（xià），即使有束流（liú）高壓指示也應該是穩定的，無（wú）束（shù）流時高壓（yā）指示不穩定，高壓表指針就會來回的擺動，這就是不正常情況。從原理上（shàng）分析，高壓電源和負載有問題都會出現這（zhè）種現（xiàn）象。為了便於排查，先將高壓電源和負載分開，如果（guǒ）問題還在，就證明問題不（bú）在負載那方麵，而是（shì）在高壓電源那方麵，高壓電源是由高壓部分和自（zì）動電源（yuán）的主開關管進行切斷的。當有束流時，高壓指示頻繁（fán）的擺動，就是高壓出現連續性的過流打火，自動複位部分就開始（shǐ）運行，使得（dé）高壓電源的主開關管（guǎn）始終處在切斷和導通這兩種狀態（tài），反映在高壓表上的指針就金頻繁的擺（bǎi）動。在實際的修理過程中發現，有時會出現這種故障並不是由於高壓（yā）電源內（nèi）部的原因，而是真空（kōng）室內有汙染，因為設備使用了很多年，鍾罩內壁上（shàng）聚集（jí）了許多蒸鍍的材料。在有束流的情況下，會產生二次、三次電子，從而產生較大（dà）的假束流，使得主（zhǔ）開（kāi）關管不停的（de）導通和截止，高壓指示就不穩定了。消除這種故障，可先將電子槍、坩鍋、高壓電極進行徹底地清洗，如味故障還沒有（yǒu）補消除，再將鍾（zhōng）罩內所有的器件和鍾罩內壁（bì）進行徹（chè）底的清洗，故障就會被消除，高壓指示就不會在頻（pín）繁的擺動了。