1、真空鍍膜電源每(měi)完成200個鍍(dù)膜程序以上,應清潔工作室(shì)一次。方法是:用燒堿(NaOH)飽和溶液(yè)反複擦洗真空室內壁,( 注意人(rén)體皮膚不可以直接接觸燒堿溶液,以免灼傷)目的是使鍍上去的膜料鋁(lǚ)(AL)與NaOH發生反應,反應後膜(mó)層脫落,並釋放出氫(qīng)氣。再用清水清洗真空室和(hé)用布沾汽油清洗精抽閥內(nèi)的汙垢(gòu)。
2、當粗抽泵(滑閥泵,旋片泵)連續工作一個月(雨(yǔ)季減(jiǎn)半),需更換新油。方(fāng)法是:擰開放油螺栓,放掉舊油,再將(jiāng)泵啟動(dòng)數秒,使泵內的舊油完全排(pái)放出來。擰回放油螺栓,加入新油至額定量(油視鏡觀察)。連續使用半年以上,換油時應將油蓋打開,用布擦幹淨箱內汙垢(gòu)。
3、擴散泵連續使用6個月以(yǐ)上,抽速明顯變慢,或操作失當,充入大氣,拆去聯結水(shuǐ)管,卸下(xià)電爐盤,將一級噴嘴擰出,先(xiān)用汽油將泵腔及泵膽清洗一(yī)遍(biàn),再用洗衣粉兌水(shuǐ)清洗一(yī)遍,然(rán)後用清水徹底清洗幹淨,待(dài)水(shuǐ)份揮(huī)發幹以(yǐ)後,裝好(hǎo)泵膽,加入新擴散泵油,並裝回機體,接好(hǎo)水管,裝好電(diàn)爐盤,便可以重新開機。在重新開機前,要注(zhù)意檢漏工作。方法是:啟動維持泵,關好大門,數分鍾後,觀察擴散泵部分真空度是否達到6X10帕,否則要進行檢漏。檢查聯接處是否裝密封膠圈,或壓壞密封圈(quān)。排除漏氣隱患後方可加熱,否則擴(kuò)散泵油會燒(shāo)環無法進入工作狀態。

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