江蘇MSD係列小功率直流磁控濺射電源

主要型號：

主（zhǔ）要特點：
   A 采用先進的電流型開關電源技術，減小輸（shū）出儲能元件，
同時提高了抑製打火及重啟速度，應用在鋁靶鍍膜優勢更為明顯。
   B 具備恒流/恒功率模式可選。恒功率模式相對於傳統的恒流模式，
更能保證鍍膜工藝的重複性。
  C 具有理想的（de）電（diàn）壓陡降特（tè）性，自動識別偽打火現象，
充分滿足磁控濺射工藝過程的連續性。
  D 可選擇手動控製/模擬量接口控製（zhì），可選配RS485通訊接口。
  E 專門為試驗型真空設（shè）備定製，相對生（shēng）產型設備的直流磁（cí）控（kòng）濺射電源，
為客戶減小電源體積和降低成本
采用先（xiān）進的PWM脈寬調製技術，使用進口（kǒu）IGBT或MOSFET作（zuò）為功率開關器件（jiàn），
體積小、重量輕、功能全、性能穩（wěn）定可靠（kào），生產工藝嚴格完善。
該係列產品采用先進的（de）DSP控製係統，充分保證鍍膜工藝的重複性，
並且具有抑製靶材（cái）弧光放電及抗短路功能，
具有極佳的負載匹配能力，既保證（zhèng）了（le）靶麵清洗工藝（yì）的穩定性，又提高了靶麵（miàn）清洗速度（dù）；
主要參數均可大範圍連續調節；
方便維護，可靠性高；
PLC接口和（hé）RS485接口擴展功能，方便實現自動化控製。

主要用途：

直流（liú）磁控濺射用於鍍製各種金屬。

真空（kōng）鍍膜電源的故障現象分析及排除，在實際（jì）使（shǐ）用的過程中，真空鍍膜（mó）機就（jiù）出現過不少故障，其中高壓（yā）電源部（bù）分的故障較多，也比較複雜，下麵就幾種典型的故障進行（háng）分析。

1、增加電子束流時，高壓沒有指示

真空鍍膜機在正常工作的時候，設備的主（zhǔ）開關電路中的開關管處於飽和的（de）導通狀態，當管（guǎn）壓下降保持在100V左右的時候，柵極得到正偏壓50V，高壓指示6kV（或10kV）。從檢測（cè）電路上得到的電壓控製信號不足以使穩壓（yā）管擊穿導通。在不正常的情況下，增加束流時，由於束斑的位置不在中心，電子束可能會打到坩堝的邊緣，或者束斑的位置在中心，但蒸鍍的材料被打穿等原因，都會出現高壓無指示。這是（shì）由於高壓輸出被近似短路，造成電子束流大於預定的值，主開關管處於截（jié）止狀態，承受（shòu）全部的高壓，讓（ràng）高壓無法輸（shū）出。由於打火而造成束流過大的時候，在電流檢（jiǎn）測電路時取得（dé）的過流信號，使得穩壓管被（bèi）擊穿導通，管壓處於導通狀態，這時高壓就沒有指（zhǐ）示了。

2、無束流時，高壓指示不穩定

在（zài）正常的（de）情況下，即使有束流高壓指示也應該是穩定的，無束流時高壓指示不穩定，高壓表指針就會來回的擺動，這就是不正常（cháng）情況。從原理上分（fèn）析，高壓電源和負載（zǎi）有問題都會出現這種現象。為了便於排查，先將高壓電源和負載分開，如果問題還在，就證明問題不在負載那方麵，而是在高壓電源那方麵，高壓電源是由高壓部分和自動電源的（de）主開（kāi）關管進行切斷的。當有束流時，高壓指示頻繁（fán）的擺動，就是高壓出現連續性的過流打火，自動複位部（bù）分就開始運行，使得高壓電源的主開關管始終處在切（qiē）斷和導通這兩種狀態，反映在高壓表上的指針就金頻繁的擺動。在實際的修理過程（chéng）中發現，有（yǒu）時會出（chū）現這（zhè）種（zhǒng）故障並不是由於高壓電源內部的原因，而是（shì）真空室內有汙染，因為設備使用了很多年，鍾罩內壁上聚集了許多蒸鍍的材料。在有束流（liú）的情況下，會產生二次、三次電（diàn）子，從而產生較大的假束流，使得主開關（guān）管不（bú）停的（de）導通和截止，高（gāo）壓指示就（jiù）不（bú）穩定了。消除這種（zhǒng）故障，可先將電子槍、坩鍋、高壓電極進行徹底地清洗，如味故（gù）障還沒有（yǒu）補消除，再將鍾罩內所有的器件和鍾罩內壁（bì）進行徹底的清洗（xǐ），故障就會被消除（chú），高（gāo）壓指示就不（bú）會在頻繁的擺（bǎi）動了。