上海MSD係列（liè）小功率直流磁控濺射電源（yuán）

主要型號：

主要特點：
   A 采（cǎi）用先進的電流型開關電源技術，減小輸出（chū）儲能元件，
同（tóng）時提高了抑製打火及重啟速度，應用在鋁靶鍍膜優勢更為明顯（xiǎn）。
   B 具備恒流/恒功率模（mó）式可選。恒功率模式相對於傳統的恒流模式，
更（gèng）能保證鍍膜工藝（yì）的重複性。
  C 具有理想的電壓陡（dǒu）降（jiàng）特性，自（zì）動識別（bié）偽打火現象，
充分滿足磁（cí）控濺射工藝過程的連續性（xìng）。
  D 可選擇手動控製/模擬量（liàng）接（jiē）口控製，可（kě）選配RS485通訊接口。
  E 專門為試驗型真空設備定製，相對生產（chǎn）型設備的直流磁控（kòng）濺（jiàn）射電源，
為客戶減小電源體積和降低成本
采用先（xiān）進（jìn）的PWM脈寬調製技術，使用進口IGBT或MOSFET作為功率開關器件，
體積小、重（chóng）量輕、功能全、性能穩定可靠，生產工藝嚴格完善。
該係（xì）列產品采（cǎi）用（yòng）先進的DSP控製係統，充分（fèn）保（bǎo）證鍍膜工藝的重複（fù）性，
並且具有抑製靶材（cái）弧光放電及抗短路功能，
具有（yǒu）極佳的負載匹配能力，既保證了（le）靶麵清（qīng）洗工藝（yì）的穩定性，又提（tí）高了靶麵清洗速度；
主（zhǔ）要參數均可（kě）大範圍連續調節；
方便維護（hù），可靠性高；
PLC接口和RS485接口擴展功能（néng），方便實（shí）現（xiàn）自動化控製。

主要用途：

直流磁控濺射用於鍍製各種金（jīn）屬。

真空鍍膜電源的故障現象分析及排除，在實際使用（yòng）的過程中，真空鍍膜機就出現過不少故障，其中高壓電源部分的故障較多，也比較複雜，下麵就幾種典型的故障進行分析。

1、增加（jiā）電子束流時，高（gāo）壓沒有指示

真空（kōng）鍍膜機在正常工（gōng）作的時候，設備的主開關電路中的開關管處於飽和的導通狀態，當管壓下降保（bǎo）持在100V左右的時候，柵極得到正偏壓50V，高壓（yā）指示6kV（或10kV）。從檢測電路上（shàng）得到（dào）的電壓控製信號不足以使穩壓（yā）管擊穿導通。在不正常的情況下，增加束（shù）流時，由於束斑的位置不在中心（xīn），電子束（shù）可能會打到坩堝的邊緣，或者束（shù）斑的位置在中心，但蒸鍍的材料被打穿等原因，都會出現高壓無指示。這是由於高壓輸出被近似短（duǎn）路，造成電子束流大於預定的值（zhí），主開關管處於截止狀態（tài），承受全部的高壓，讓高壓無（wú）法輸出（chū）。由於打（dǎ）火而造成束流過大的時候，在電流（liú）檢（jiǎn）測電路時取得的過流（liú）信號，使得穩壓管被擊穿導通，管壓處於導通狀態，這時高壓就沒有指示了。

2、無束流時（shí），高壓指示不穩定

在正常的情況下，即使有束流（liú）高壓指示也應該是穩定的，無束流時高壓指示不穩定，高壓表指針（zhēn）就會來回的擺動，這就是不（bú）正常情況。從原（yuán）理上分（fèn）析，高壓電源和（hé）負載有問題都會出現這種現象。為了便於排查，先將高壓電（diàn）源和負載分開，如果問題還在，就證明問題不在負載（zǎi）那方麵（miàn），而是在高壓電源那方麵，高壓電源是由高壓部分和自動電源的主開關管進行切斷的。當有束流時，高壓指示頻繁的擺動，就（jiù）是高壓出現連續性的過流打（dǎ）火，自動複位部分就開始運行，使得高壓電源的主（zhǔ）開關管始終處在切斷和導（dǎo）通這兩種狀態，反映在高壓表上的指針就（jiù）金（jīn）頻（pín）繁的擺動。在實際的修理過程中發現，有時會出現這種故障並不是由於高壓電（diàn）源內部的原因，而是真空室內有汙染，因為（wéi）設備使用（yòng）了很多年，鍾罩內壁（bì）上聚集了許（xǔ）多蒸鍍的材料。在（zài）有束流（liú）的情況下（xià），會（huì）產生二次、三（sān）次電子，從（cóng）而產生較大的假束（shù）流，使得（dé）主開關管（guǎn）不停的導通和截止，高壓指示就不（bú）穩定（dìng）了。消除這種故障（zhàng），可先將電子槍、坩鍋、高壓電極（jí）進（jìn）行徹底地清洗，如味故障（zhàng）還沒有（yǒu）補消（xiāo）除，再將鍾罩內所有的器件和鍾罩內壁進行徹底的清洗（xǐ），故障就會被消除，高壓（yā）指示就不會在頻繁的擺動了。