上海MSD係列小功率直流磁控濺射電源

主要（yào）型號：

主要（yào）特點：
   A 采用先進的電（diàn）流（liú）型開關電源技術，減小輸出儲能（néng）元件，
同時提高（gāo）了抑製打火及重啟速度，應用在鋁靶（bǎ）鍍膜優勢更為明顯。
   B 具備恒流/恒功率模式可選。恒（héng）功率模式相對於（yú）傳（chuán）統的恒流模式，
更（gèng）能保證鍍（dù）膜（mó）工藝的重複性。
  C 具有理（lǐ）想的電壓陡降特性（xìng），自動識別偽打火現象，
充分滿足磁控濺射工藝過程的（de）連續性。
  D 可選擇手動控製/模擬量接口控製，可選配RS485通訊接口。
  E 專（zhuān）門為（wéi）試驗型真空設備（bèi）定製，相對（duì）生產型設（shè）備的直流磁控濺射電源，
為客戶減小電源體積和降低成本
采用先進的PWM脈寬調製技術，使用進口IGBT或MOSFET作為功率開關器件，
體積小、重量輕（qīng）、功（gōng）能全、性能穩定可靠，生產工（gōng）藝嚴格完善（shàn）。
該係列產品采用先進的DSP控製係統，充分保（bǎo）證鍍膜工藝的重複（fù）性，
並且具有抑製靶材弧光放電及（jí）抗短路功能，
具有極佳的負載匹配能力，既保證了靶麵清洗工藝（yì）的穩定性，又提高了靶麵清洗速度；
主要參（cān）數（shù）均可大範（fàn）圍連續調節；
方便（biàn）維護，可靠性高；
PLC接口和RS485接口擴展功能，方便實現自動化控製。

主要用途：

直流（liú）磁控濺射用於鍍製各種金屬。

真空鍍膜電源的故障現象分析及排除，在實際使（shǐ）用的（de）過程中，真空鍍膜機就出現過不少故障，其（qí）中高（gāo）壓電源部分的故障較多（duō），也比較複雜，下麵（miàn）就幾種典型的故障進行分析。

1、增加電子束流時，高壓沒有指（zhǐ）示

真空鍍膜機在正常工作的時候，設備的主開關電路中的開關管處於飽和的導通（tōng）狀態（tài），當（dāng）管壓下降保持在（zài）100V左右的時候，柵極得到正偏壓（yā）50V，高壓指示6kV（或10kV）。從檢測電路上得到的電壓控製信號不足以使穩壓管擊穿導通。在不正常的（de）情況下，增加（jiā）束（shù）流時（shí），由於束斑的位置不在中心，電子束可能（néng）會打到坩堝的邊緣，或者束斑的位置在中心，但蒸鍍的材料被打穿等原因，都會出現高壓無指示。這是由於高壓輸出（chū）被近似短（duǎn）路，造成電子束流大於預定的值，主開關管處於截止狀態（tài），承受全部的高（gāo）壓，讓高（gāo）壓無法輸出。由於打火而造成束流過大的時候，在電流檢測電路時取（qǔ）得的過流信號，使得穩壓管被擊穿導通，管壓處於導通狀態，這時高壓就沒有指示了。

2、無束流（liú）時，高壓指示不穩定

在正常的情況（kuàng）下，即使有束流高壓指示也應該是穩定（dìng）的，無束流時高壓指示不穩定，高壓表指（zhǐ）針就會來（lái）回的擺動，這就是不（bú）正常情況。從原理上分析，高壓電（diàn）源和負載有（yǒu）問題都（dōu）會出現（xiàn）這種現象。為了便於排查，先將高（gāo）壓電源和負載分開，如果問題還在，就證明問題不在負載那方麵，而是在高壓電源那方麵，高壓電源是由高壓部分和自動電源的主開關管（guǎn）進行（háng）切斷（duàn）的。當有束流時，高壓指示頻繁的擺動，就是高壓出現連續性的過流打火，自動複位部分就開始運行，使得高壓電源的主（zhǔ）開關（guān）管始終處在切斷和導通這兩（liǎng）種狀態，反（fǎn）映在高壓（yā）表上（shàng）的指針就金頻繁的擺動。在（zài）實際的修（xiū）理過（guò）程中發現，有時會出現這種故障並不是由於高壓電源內部的原因（yīn），而是真（zhēn）空室內有汙染，因為設備使用了很多（duō）年，鍾罩內壁上聚集了許多蒸鍍的材料。在有束流的情況下，會產生二次、三次電子，從而產生較大的假（jiǎ）束流，使得主開關管不停的導通和截止，高壓指示就不穩定了。消除這種故障，可先將（jiāng）電子槍、坩（gān）鍋、高壓電極進行徹底（dǐ）地清洗，如味故障還沒（méi）有補消除，再將（jiāng）鍾罩（zhào）內所（suǒ）有的器件和鍾罩內（nèi）壁進行徹底的清洗，故障就會被消除，高壓指示就不會在頻繁的（de）擺動了。