武漢MSD係列小功（gōng）率（lǜ）直流磁（cí）控濺射電源

主要型號：

主要特點：
   A 采用先進的電流型開關（guān）電源技術，減（jiǎn）小輸出儲能元件（jiàn），
同時提高了抑製打火（huǒ）及重啟（qǐ）速度，應用在（zài）鋁靶鍍膜優勢更為（wéi）明顯。
   B 具（jù）備恒流/恒功率模式可選。恒功（gōng）率模式相對於傳統的恒流模式，
更（gèng）能保證鍍膜工藝（yì）的重複性。
  C 具有理（lǐ）想的電壓陡降特性，自（zì）動識別偽打火現象，
充分滿足磁控濺（jiàn）射工藝過程的連續性。
  D 可選擇手動（dòng）控製/模擬（nǐ）量（liàng）接口控製，可選配RS485通訊（xùn）接口。
  E 專門為試驗型真空設備定製，相對生產（chǎn）型設備的直流磁控濺射（shè）電源，
為客戶減小電（diàn）源體積和降低成本
采用先進的PWM脈寬調製技術，使（shǐ）用進口IGBT或（huò）MOSFET作為功（gōng）率開關器件，
體積（jī）小、重量輕、功能全、性能穩定可靠，生（shēng）產工藝嚴格完善（shàn）。
該（gāi）係列產品采用先進的DSP控製係統，充分保證鍍膜工藝的重複性，
並（bìng）且具有抑（yì）製靶材弧光放電及抗短路功能，
具有（yǒu）極佳的負（fù）載匹配能力，既保證了靶麵清洗工藝的穩定性（xìng），又提（tí）高了靶麵（miàn）清洗速度；
主要參數均可大範圍連續調節；
方便維護，可靠性高（gāo）；
PLC接口和RS485接口擴展功能，方（fāng）便實現自動化控製。

主要用途：

直流磁控（kòng）濺射用於鍍製（zhì）各種金屬。

真空鍍膜電源的故障現象分析及排除，在實際使（shǐ）用的過程中，真空鍍膜機就（jiù）出現過不少故（gù）障，其中高壓電源部分的故障較多，也比較複雜，下麵就幾（jǐ）種典型的故障進行分析。

1、增加電子束流時，高（gāo）壓沒有指示

真空鍍膜機在正常工作的時候，設備的主開關電路中的（de）開關管處於飽和的導通狀態，當管壓下降（jiàng）保持在100V左右的（de）時候，柵極得到正偏壓50V，高壓指示6kV（或（huò）10kV）。從檢測電路上得到的電（diàn）壓控（kòng）製（zhì）信號（hào）不足以使穩壓管擊穿導通。在不正常（cháng）的情況下，增加束流時，由於束斑的位置不（bú）在中（zhōng）心，電子（zǐ）束可能會打到坩堝的邊（biān）緣，或者束斑的位置在（zài）中心，但蒸鍍的材料被打穿等原因，都會出現高壓無指示。這是由於高壓輸出被近似短路，造成電子束（shù）流大於預定的值，主開關管處於截止狀態（tài），承受全部的高壓（yā），讓高壓無法輸出。由於打火而造成束流過大（dà）的時（shí）候，在電（diàn）流檢（jiǎn）測電（diàn）路時取得的過流信號，使得穩壓管被擊（jī）穿（chuān）導通，管壓處於導（dǎo）通狀態，這時高壓就沒有指示了。

2、無（wú）束流時，高壓（yā）指示（shì）不穩定

在正常的情況下，即使有（yǒu）束流高壓指示（shì）也應該是穩定的，無束流時高壓（yā）指示不穩定，高壓表指針就會來回的擺動，這（zhè）就是不正常情況（kuàng）。從原理上分析，高壓電源和負載有問題都會出現這種現象。為了便於排查（chá），先將高壓電（diàn）源和負載分開，如果問題還在，就證（zhèng）明問題不（bú）在負載那方麵，而是在高壓電源那方（fāng）麵，高壓電源是由高（gāo）壓部分和自動電源的主開關管進（jìn）行切斷的。當有束流（liú）時，高壓指示頻（pín）繁的擺動，就（jiù）是高壓出現連續性的過流打火，自動複位部分就開始運行，使得高壓電源的主開關管始終處在切斷（duàn）和導通這兩種狀態，反映在高壓表上（shàng）的指針就金頻（pín）繁的擺（bǎi）動。在實際的修理過程中發現，有時會出現這（zhè）種故障並不是由（yóu）於高壓電源內部的原因，而是真空室內有汙染，因為設備使用了很多年，鍾罩內壁上聚（jù）集了許多蒸（zhēng）鍍的材料。在有束流的情（qíng）況下，會（huì）產（chǎn）生二次、三次電子，從而產生較大的（de）假束流，使得主開關管不停的導通和截止，高壓指示就不穩定了。消除這種故障，可先將電子槍、坩鍋、高壓電極進行徹底地清洗，如味故障還沒有補消除，再將鍾罩內所有的器件和鍾罩內壁進行徹底的清洗，故障就會被消除，高壓指示就不會在頻繁的擺動了。