真空鍍（dù）膜機技術中幾種電（diàn）源（yuán）的介紹

真空鍍膜機的鍍膜工藝，應（yīng）適用於電源，鍍（dù）基材不同，工藝不一樣，設備配（pèi）置不一樣，電源（yuán）的使用也不一樣，下麵為大家介紹幾種（zhǒng）常見的（de）電源：

電弧（hú）電源

電弧離子鍍膜中靶材的蒸發和（hé）電離須依靠電弧（hú）電源提供能量（liàng）。在（zài）實際的鍍膜過程中，電源應能自動檢測到（dào）滅弧（hú）現象並自動啟動（dòng）電弧，以確保鍍膜過程的連續性和均勻性（xìng）。此外，電（diàn）弧（hú）電源（yuán）的電弧穩定性（xìng）能，特別是小電弧穩定電流，對（duì）薄膜的一致性、效率和光潔（jié）度有很大影響。一台（tái）多弧離（lí）子鍍（dù）膜機配備了幾個電弧（hú）電源，十幾個，甚（shèn）至幾十套（tào）。穩定可靠的運行對整個設備的性能至（zhì）關重要。電弧電源從（cóng）傳統的（de）電源，通過使（shǐ）用晶閘管技術，發展到目前的高（gāo）頻逆變器。與傳統電磁晶閘（zhá）管技術製成的電弧電源（yuán）相比，高頻逆變電弧電源具有以下特點：

1.體積減小，僅為（wéi）舊電（diàn）源的一小部分；相應電源的重量僅為傳統電源的十分之一到十分之一。

2.電源效率明顯提高，比舊電源效率提高約20%-30%。

3.操作輕便，電流調節精度高，穩流性能好，有利於控（kòng）製膜厚（hòu），保證膜厚的可重複性。

4.高頻逆變模式的電弧電源紋波較小，響（xiǎng）應速度遠（yuǎn）高於舊電源。在相同的電弧源（yuán）和工作條件下，使用高頻逆變電弧電源有利於提高電弧的穩定性，減少滅弧次數。

磁控（kòng）濺射電源

從輸（shū）出波形來看，隨著磁控濺射技術本（běn）身的發展，經曆了直流（liú）、單極脈衝、對稱雙極脈（mò）衝（中頻磁控（kòng）濺射電源）和雙極脈衝（非對稱中頻磁控濺射功率）幾種方式。目（mù）前，新型磁控濺射電源基本采用高頻（pín）逆變開關電源技術（shù），中（zhōng）頻磁控濺射電源已成為新型磁控濺射設備（bèi）電源。為了控製膜（mó）層的厚度，磁控濺射電源須穩定工作並具有良好的恒定特性。目前，主（zhǔ）要使用恒流（liú）模式，也有恒（héng）功率模式，很少使用（yòng）恒壓（yā）模式。此外，磁控濺射鍍膜技術的一個顯著優點是膜層致密，光（guāng）潔度好（hǎo）。為（wéi）了實現這一優勢，有必要（yào）在磁控濺射過程中嚴格限製靶表麵上的點火次數和每次點火的能量，並盡量（liàng）減（jiǎn）少點火力矩引起的宏觀靶粒（lì）子的數（shù）量，這（zhè）將（jiāng）降低膜層的密度和光潔度，嚴重導致薄膜脫落。

偏（piān）壓電源

偏壓電源用於多弧離子和磁控（kòng）濺射塗層技術。隻是因為磁控濺射的電離率遠（yuǎn）低於多弧離子鍍，所以所需（xū）偏壓電源的功率較小。目前，許（xǔ）多（duō）設備都配備了磁控濺射靶和多弧靶，偏壓電源的選擇應（yīng）根據多單元操（cāo）作的（de）要求（qiú）來確定。早期的偏置電壓主要是采用晶閘管技術的直流偏（piān）置電（diàn）源，現在主要是采用高頻逆變技術製造的單極（jí）、直流疊加脈衝和（hé）雙極脈衝（chōng）偏置電源。偏（piān）壓電源主要用於多弧離子和磁控濺射塗層、離子轟擊和薄膜（mó）沉積過程中的輝光清洗（xǐ），以在鍍覆工（gōng）件（jiàn）上施（shī）加偏壓，並（bìng）在輝光清洗過程中（zhōng）產生輝光。在離子轟擊中用於加速離子（zǐ），提高（gāo）離子轟擊進入工件表麵的能量，達到（dào）濺射清洗效果和提高薄膜結合力的目的，在薄膜沉積中，它還（hái）用於增加離子能量，促進和改善薄膜生長，還將提高薄膜基部結合力（lì），以下是偏壓電源的幾種常見波形：

單極脈衝偏壓電（diàn）源

主要特點

1.高頻（pín）單極脈衝偏壓作用在（zài）工件上，與直流偏壓相比，由於存在電壓中斷（duàn）間隙，可（kě）以有效減少點火次數，保護（hù）工件表麵。

2.在脈衝間隙期間，工件表麵積累的電荷可以被中和，從而減少表麵電荷積累引起的點（diǎn）火。

3.高（gāo）頻逆變技術的快速關斷能力能有效減少每次火花釋放的能量，即使出現火花，也能顯著降低對（duì）工件表麵的（de）大損（sǔn）傷（shāng）程（chéng）度。

4.在（zài）脈（mò）衝間隙（xì）期間沉積到工件表麵的（de）離子能量非常低。

5.通過調節頻率和占空（kōng）比，可以提高和控製成膜速度和質量。

直流疊加脈衝偏（piān）壓電源

主要特點

1.具有單極脈衝偏壓電源（yuán）的（de）所有特性。

2.在直流和直流疊加脈衝模式下，消除了單極脈衝間隙之間離子能（néng）量低的問題。

雙極（jí）脈衝偏壓電源

主要（yào）特點

1.負脈衝的（de）作用與單極脈衝偏壓電源相同，正脈衝的作用主（zhǔ）要（yào）是吸引等離子體中（zhōng）的電子，以中和工件表麵（miàn）積累的正電荷。因為電子的（de）質量比離（lí）子（zǐ）的（de）質（zhì）量小得多，所以加速（sù）很容易，所以正（zhèng）脈衝的幅度比負脈衝的幅度小得多。通常為10~100V，正負脈衝的電流積分應該相等。因此，正電源（yuán）的功（gōng）率遠小於負電源的功（gōng）率。

2.當正電（diàn）源電（diàn）壓為零時，雙極性脈衝偏壓（yā）變（biàn）為單極性脈衝偏壓。